당신은 주제를 찾고 있습니까 “노광 장비 – 한국은 왜 EUV장비를 만들지 못할까? EUV장비 하나로 수퍼을이 된 네덜란드 ASML! (Feat. 반도체 제왕 인텔도 털어버린 ASML)“? 다음 카테고리의 웹사이트 ppa.maxfit.vn 에서 귀하의 모든 질문에 답변해 드립니다: https://ppa.maxfit.vn/blog/. 바로 아래에서 답을 찾을 수 있습니다. 작성자 NEO지식창고 이(가) 작성한 기사에는 조회수 701,399회 및 좋아요 13,329개 개의 좋아요가 있습니다.
노광 장비 주제에 대한 동영상 보기
여기에서 이 주제에 대한 비디오를 시청하십시오. 주의 깊게 살펴보고 읽고 있는 내용에 대한 피드백을 제공하세요!
d여기에서 한국은 왜 EUV장비를 만들지 못할까? EUV장비 하나로 수퍼을이 된 네덜란드 ASML! (Feat. 반도체 제왕 인텔도 털어버린 ASML) – 노광 장비 주제에 대한 세부정보를 참조하세요
ASML가 수퍼을이 된 이유!!
반도체 강국인 한국은 왜 EUV장비 를 만들지 못할까?
#EUV장비#ASML#삼성전자#파운드리#TSMC
알뜰창고 https://www.youtube.com/channel/UCQBcw9sWegdva-ROdH-ryrQ\r
지식창고 https://www.youtube.com/channel/UC2BmSdUv0_jZYFBAaYtCrsQ\r
\r
NEO의 지식창고입니다~\r
항상 재밌고 유익한 세상의 지식들로 여러분들을 안내해드리겠습니다!!\r
구독과 좋아요는 NEO가 세상의 지식을 찾아가는데 큰 힘이 됩니다~\r
\r
지식창고를 찾아주시는 애청자분들의 댓글은 소통과 건전한 토론문화를 바탕으로 집단지성이 되어 우리가 원하는 방향성과 대안을 찾아나가는 길이 될 겁니다~ \r
\r
의미없는 욕설과 정치적인 선동은 그만하시고 이곳이 자신들만의 견해와 풍부한 경험담을 나누고 소통하는 따뜻하고 의미있는 창구가 되었으면 좋겠습니다^^
노광 장비 주제에 대한 자세한 내용은 여기를 참조하세요.
ASML – 나무위키
2021년 기준 노광장비 시장에서 91%[2]의 점유율을 자랑한다. 특히, n나노대의 반도체를 제작하기 위해서는 EUV(극자외선) 노광장비가 필수적인데 이 장비 …
Source: namu.wiki
Date Published: 10/7/2021
View: 9002
美 반도체 생산 능력 척도 ‘ASML 노광장비’ 매출 지속 하락
노광 장비 시장을 선점한 ASML 매출은 해당 국가의 반도체 시설 투자와 생산 능력을 가늠할 척도다. 미국의 반도체 생산 인프라 투자가 미흡했다는 …
Source: www.etnews.com
Date Published: 12/8/2022
View: 8661
‘EUV 노광장비’ 뭐길래…이재용, 6년만에 네덜란드 총리 찾아간 …
특히 네덜란드 반도체 장비업체인 ASML은 7nm(나노미터) 이하 초미세 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하고 있다.
Source: www.donga.com
Date Published: 8/26/2022
View: 124
슈퍼乙 ASML “EUV 장비 부족”… TSMC·삼성전자 서로 달라 …
피터 베닝크 CEO “2년간 EUV 공급 어려워” 수요 곡선에 턱없이 모자란 장비 생산량 인텔 CEO도, ASML에 전화걸어 장비 달라 읍소. ASML EUV 노광장비 …
Source: biz.chosun.com
Date Published: 8/20/2022
View: 6928
삼성과 TSMC를 애태우는 ‘슈퍼 을’, ASML의 기술은?
ASML의 EUV 노광장비는 이산화탄소(CO2) 레이저로 플라즈마(이온화된 기체)를 생성해 EUV를 만들어낸다. 이 때 생성되는 빛의 파장은 13.5나노미터(nm) …
Source: byline.network
Date Published: 10/2/2022
View: 2415
[Tech Talk] 노광장비 1등 기업, ASML의 성장 비결은? ①
노광공정을 지배하는 자, 반도체를 지배한다 … 그래서 글로벌 노광 장비 시장은 네덜란드의 ASML과 일본의 니콘 그리고 캐논도키(Cannon Tokki) 단 …
Source: www.epnc.co.kr
Date Published: 11/21/2022
View: 7581
ASML 기술에 대해
우리는 반도체 생산에 필요한 장비를 제공할 뿐만 아니라 소프트웨어 및 … ASML은 불가능하다고 생각했던 극자외(EUV) 광원을 이용한 노광 장비를 개발 생산하는 …
Source: www.asml.com
Date Published: 10/29/2021
View: 1570
“2025년 반도체 노광장비 중 EUV 비중 60% 넘는다” – 전자부품 …
오는 2025년께 반도체 노광장비 시장에서 EUV 비중이 60%를 넘어설 것이란 전망이 나왔다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등 주요 반도체 기업들이 EUV 장비 …
Source: www.thelec.kr
Date Published: 6/2/2022
View: 222
글로벌 기업 반도체 장비 확보 경쟁 치열…EUV 노광장비 뭐길래
글로벌 반도체 업계가 네덜란드산 극자외선(EUV) 노광 장비를 확보하기 위해 치열한 경쟁을 펼치고 있다. 반도체 장비 확보가 곧 생산능력 확대라는 …
Source: www.hankyung.com
Date Published: 8/30/2021
View: 4994
주제와 관련된 이미지 노광 장비
주제와 관련된 더 많은 사진을 참조하십시오 한국은 왜 EUV장비를 만들지 못할까? EUV장비 하나로 수퍼을이 된 네덜란드 ASML! (Feat. 반도체 제왕 인텔도 털어버린 ASML). 댓글에서 더 많은 관련 이미지를 보거나 필요한 경우 더 많은 관련 기사를 볼 수 있습니다.
주제에 대한 기사 평가 노광 장비
- Author: NEO지식창고
- Views: 조회수 701,399회
- Likes: 좋아요 13,329개
- Date Published: 2021. 5. 31.
- Video Url link: https://www.youtube.com/watch?v=qtw3dFKZgvQ
美 반도체 생산 능력 척도 ‘ASML 노광장비’ 매출 지속 하락
글로벌 반도체 장비업체 ASML의 미국향 매출이 지난 3년간 연속 하락한 것으로 확인됐다. 같은 기간 동안 우리나라와 대만에서 최대 3배 이상 매출 상승이 이뤄진 것과 대비된다. 노광 장비 시장을 선점한 ASML 매출은 해당 국가의 반도체 시설 투자와 생산 능력을 가늠할 척도다. 미국의 반도체 생산 인프라 투자가 미흡했다는 사실이 입증됐다.
ASML이 최근 발표한 2021년 연간 보고서에 따르면, ASML이 미국에서 벌어들인 수익은 2019년부터 지난해까지 약 20% 줄었다. 2019년 ASML 미국향 매출은 19억8000만유로(약 2조7000억원)이었다. 2020년 16억5700만유로, 2021년 15억8300만유로로 연이어 감소했다.
같은 기간 동안 아시아 지역 매출은 대폭 늘었다. 주요 반도체 생산 거점인 우리나라에서 매출은 2019년 22억200만유로에서 지난해 62억2300만유로로 3배 가까이 뛰었다. 대만도 2019년 53억5700만유로에서 작년 73억2700만유로로 37% 정도 증가했다. 삼성전자와 SK하이닉스가 첨단 미세 공정 역량을 확대하기 위해 극자외선(EUV) 장비를 대거 도입한 결과로 풀이된다. 대만 TSMC도 공격적인 반도체 설비 투자를 추진한 것이 대만향 매출 상승을 견인했다.
미국이 ASML 핵심 장비인 EUV 노광 장비 수출을 가로막은 중국마저 연간 매출은 두배 증가했다. 중국향 매출은 2019년 13억7700만유로에서 작년 27억4000만유로로 늘었다. 미국보다 중국이 더 많은 노광 장비를 사들였다는 분석이다. 규제를 받는 EUV 장비를 제외한 불화아르곤(ArF)·불화크립톤(KrF)·아이라인(I-line) 등 노광장비를 주로 도입한 것으로 보인다.
ASML은 세계 노광 장비 시장 84%를 차지한다. 첨단 공정에 필요한 EUV 장비 경우 ASML이 독점 공급한다. 얼마나 많은 AMSL 장비를 도입하느냐에 따라 반도체 생산 능력을 좌우할 수 있다. ASML 장비가 반도체 설비 투자 척도로 삼는 배경이다.
미국향 ASML 매출 감소는 지금까지 미국의 반도체 생산 인프라에 대한 투자가 미비했다는 방증이다. 2020년까지 미국이 반도체 팹에 대한 투자 의지가 부족했다. 인텔이 파운드리 사업 진출을 선언하기 전이었고 마이크론도 EUV 장비에 대해 한때 회의적이었던 것이 영향을 미친 것으로 풀이된다.
미국이 반도체 생산 거점을 자국에 유치하는 만큼 향후 ASML 장비 도입 속도가 붙을 전망이다. 인텔이 2025년까지 ASML 차세대 노광장비를 도입하고 마이크론도 EUV 장비의 활용을 공식화했다.
다만 업계에서는 미국 반도체 생산 능력이 당장 대만과 우리나라를 압도하진 못할 것으로 봤다. 반도체 업계 관계자는 “ASML 주 매출이자 핵심장비인 EUV 보유 대수가 대만 80여대, 한국 50여대로 미국과 격차가 있다”면서 “미국의 공격적인 투자가 단기적 생산 능력 역전을 야기하진 않을 것”이라고 밝혔다.
(단위 : 100만유로)
자료=ASML
권동준기자 [email protected]
‘EUV 노광장비’ 뭐길래…이재용, 6년만에 네덜란드 총리 찾아간 이유는?
이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 총리 집무실에서 마르크 뤼터 총리와 만났다. 네덜란드와 최첨단 파운드리(반도체 위탁생산) 역량 강화를 위한 협력 확대 방안을 논의하기 위해서다.15일 삼성전자에 따르면 이 부회장은 네덜란드 헤이그의 총리 집무실에서 뤼터 총리와 반도체 협력 방안을 논의하고 글로벌 반도체 공급망 문제에 대한 협력 방안을 논의했다. 이 부회장과 뤼터 총리가 만난 건 2016년 9월 이후 6년 만이다.네덜란드는 글로벌 반도체 산업의 핵심 국가 중 하나로 꼽힌다. 반도체 연구 개발과 설계, 장비, 전자기기 완제품까지 반도체 산업과 관련해 우수한 기술을 보유했다. 특히 네덜란드 반도체 장비업체인 ASML은 7nm(나노미터) 이하 초미세 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하고 있다. 이 때문에 이 부회장과 뤼터 총리의 만남이 반도체 양산 능력을 갖춘 한국과 반도체 기술력을 갖춘 네덜란드 간 국가 협력의 장을 마련했다는 평가가 나온다.이 부회장은 이 자리에서 최첨단 파운드리 사업 확대에 필수적인 ASML의 EUV 장비 공급 안정화를 위한 네덜란드의 협조를 요청한 것으로 전해졌다. 이 외에도 정보통신기술(ICT)과 전기차 등 신산업과 관련해 삼성과 네덜란드의 협력 방안도 논의됐다.앞서 뤼터 총리는 3월 윤석열 대통령 당선인과 통화에서도 양국 반도체 협력 확대 방안을 논의한 바 있다. 당시 윤 당선인은 뤼터 총리에게 “미래산업의 쌀로 불리는 반도체 산업에서 양국 협력을 확대해 나가자”고 제안했다. 뤼터 총리는 “한국과 네덜란드가 반도체 선도 국가인 만큼 양국 간 협력 시너지는 매우 클 것”이라고 답했다.관련 업계에서는 삼성과 네덜란드의 협력 강화가 새 정부의 반도체 진흥 방침 및 삼성의 비전 2030과 맞물려 한국 반도체 산업의 발전을 촉진할 것이라는 관측이 나왔다.이 부회장의 유럽 출장으로 이 부회장의 글로벌 네트워크가 정관계 리더로 확산하고 있다는 평가도 나온다. 이 부회장이 네덜란드에서 만난 뤼터 총리는 유럽 내 유력 정치 매체에서 차기 유럽연합(EU) 정상회의 의장으로 거론되는 인사다. 이 부회장은 2016년 9월 방한한 뤼터 총리를 맞아 삼성전자 전시관을 직접 안내하며 삼성전자의 사업현황과 주요 제품, 핵심 기술 등을 소개한 바 있다. 이 부회장은 이 외에도 지난달 조 바이든 미국 대통령을 포함해 전·현직 미 대통령, 빈 살만 사우디 왕세자, 모디 인도 총리 등 글로벌 리더와 교류하고도 있다.한편 이 부회장은 지난 7일 서울 김포공항을 통해 11박 12일 일정으로 유럽 출장길에 나섰다. 지난해 12월 아랍에미리트 방문 이후 6개월 만의 출장이다. 이 부회장은 독일, 벨기에, 프랑스 등을 방문해 반도체 산업 관련한 글로벌 협력 및 공급망 점검 등을 진행할 계획이다.송충현 기자 [email protected]
삼성과 TSMC를 애태우는 ‘슈퍼 을’, ASML의 기술은?
가장 개성있는 뉴스레터 일간 바이라인
매일 아침 바이라인네트워크 기자들의 편지와 최신 기사가 여러분의 편지함으로 배달됩니다. Leave this field empty if you’re human:
반도체 업계에서 ‘슈퍼 을’이라고 불리는 기업이 있다. ASML이다. ASML은 TSMC, 삼성전자를 비롯한 반도체 대기업을 고객으로 삼고 있다. 계약서의 관점으로는 ‘을’이다. 그러나 반도체 대기업들은 ASML 없이는 첨단 반도체를 생산할 수 없다. 반도체 대기업이 ASML을 슈퍼 을로 보는 이유다. 반도체 업계에서 적잖은 영향력을 가진 ASML은 최근 영국 시장조사업체 퓨처브랜드(Future Brand)가 정한 브랜드가치 순위에서 1위에 오르기도 했다.
ASML을 ‘슈퍼’ 을로 만든 것은 이 회사의 ‘EUV(극자외선) 노광장비’다. 반도체 회로를 그릴 때 반드시 필요한 장비라, 세계적으로 반도체 수요가 증가하고 수급난이 심해지는 상태에서 몸값이 더 올랐다. 특히, 반도체 업계가 7나노미터(nm) 공정에 더욱 관심을 가지면서 초미세공정에 적합한 EUV 노광장비에 대한 관심도 덩달아 커지고 있다. 다만, 전문가가 아니라면 EUV 노광장비는 다소 낯설고 어려운 용어다. 그래서 준비했다. EUV 노광장비란 무엇인가?
ASML을 슈퍼 을로 만든 ‘EUV 노광장비’
ASML은 네덜란드 벨트호벤에 본사를 두고 있는 노광장비 제조업체다. 빛을 이용해 반도체 회로를 그리는 노광장비를 주로 만든다. 반도체 회로는, 기판이 되는 웨이퍼 위에다 빛에 반응하는 감광액을 바르고 그 위에 회로 설계도에 맞도록 빛을 쏘면 만들어진다. 이 공정을 포토 리소그래피(photo-lithography) 라고 하며, 이때 사용하는 장비가 노광장비다.
노광장비는 사용되는 빛의 종류에 따라 구분된다. 여러 종류의 노광장비 중에서도 최근 EUV 노광장비가 주목 받고 있는 이유는, 기존보다 짧은 파장의 빛을 만들어낼 수 있기 때문이다. 빛의 파장이 짧을수록 더 얇은 회로를 그릴 수 있다. 파장이 짧으면 빛의 회절이 줄어들기 때문에 원하는 한 점에서 벗어나지 않도록 정확하게 빛을 집중시킬 수 있다. EUV는 파장이 짧은 자외선보다도 파장이 더 짧은 빛으로, 이 빛을 이용하면 매우 얇게 회로를 그릴 수 있다.
ASML의 EUV 노광장비는 이산화탄소(CO2) 레이저로 플라즈마(이온화된 기체)를 생성해 EUV를 만들어낸다. 이 때 생성되는 빛의 파장은 13.5나노미터(nm) 이하인데, 기존에 사용되던 불화아르곤(ArF)의 파장이 193나노미터였다는 것을 고려하면 매우 짧다. 이 EUV 노광장비가 들어서면서 TSMC, 삼성전자 등 반도체 대기업들도 7나노 미만의 반도체를 생산할 수 있게 됐다.
ASML이 EUV 노광장비를 만들기까지
현재 노광장비를 개발하고 있는 기업은 ASML, 니콘, 캐논 세 곳이다. ASML이 노광장비 시장에서 차지하고 있는 비중은 85~90%이며, EUV 노광장비의 경우에는 ASML이 유일하게 생산하고 있다. ASML이 노광장비 시장에서 강세를 보일 수 있던 것은 반도체 장비 중에서도 노광장비 사업을 기반으로 설립된 회사라서다. ASML은 1984년 반도체 제조장비업체 ASMI(ASM인터내셔널)에서 리소그래피(노광) 사업부가 떨어져 나와 네덜란드의 필립스와 합병해 설립한 기업이다. 기반 사업이 노광장비이다 보니, 해당 부문의 기술을 오랜 기간 개발해 나갈 수 있었다.
여러 노광장비 사업 중에서도 ASML은 EUV에 대한 가능성을 많이 봤다. 1990년대 미국, 일본, 네덜란드 등의 주요 국가들이 EUV가 미래 제조 기술이 될 것으로 전망하며 관련 프로젝트를 진행할 때, ASML도 EUV 기술에 주목했다. ASML은 2001년부터 EUV 프로그램에 인력과 자원을 할당해 기술을 개발해 나가기 시작했다.
5년간 EUV 노광기술 개발을 준비하고 2006년, 초기 알파 데모 툴 EUV 프로토타입을 개발했다. EUV 프로토타입은 연구소 imec(벨기에)와 SUNY(미국)에 설치됐는데, 이것이 EUV 노광장비의 시초가 됐다. 이때 EUV 장비의 가능성을 확인한 ASML은 다음 해 EUV 리소그래피 전용 클린룸을 건설하고, 본격적으로 EUV 노광장비 개발에 나섰다.
약 3년 뒤인 2010년에는 ASML이 최초의 EUV 노광장비 ‘NXE3100’을 공개했다. 비록 실험용이었지만 ASML은 NXE3100에서 가능성을 발견할 수 있었다. 이후 ASML은 2012년 반도체 업체들과 협업해 차세대 리소그래피 기술을 개발해 나가기 시작했다. 인수합병도 적극적으로 단행했다. 특별히 2013년에는 미국 장비업체 사이머(Cymer)라는 회사를 인수해 광원 기술을 확보했다. 그렇게 차세대 EUV 노광장비 NXE3300, NXE3360 등의 모델도 세상에 나올 수 있었다.
현재 반도체 업계에서 주로 사용되고 있는 EUV 노광장비는 2016년 개발된 NXE3400 시리즈다. 당시 ASML은 대만 반도체장비업체 HMI를 3조6000억원에 인수해 반도체 제조공정을 고도화했다. 여러 인수합병과 장비 출시를 거친 후, 2015년에는 처음으로 2017년에 사용될 새로운 장비 NXE3400 첫 주문을 받았다. 이 NXE3400 시리즈가 지금 반도체 업계에서 주로 사용되고 있는 EUV 노광장비다.
그렇게 ASML은 20년이라는 시간에 걸쳐, EUV 노광장비를 개발해 슈퍼 을의 자리에 설 수 있었다. 지금도 ASML은 EUV 노광장비의 양산 비율을 높이고 장비 출하량도 높이기 위해 연구 개발을 지속하고 있다. 2022년에는 신규 EUV 노광장비인 NXE3600D를 본격적으로 생산할 것이라고 밝혔다. 현재 최신 노광장비는 3400C이며, 주력 제품은 3400B인데, NXE3600D는 기존 장비에 비해 생산효율이 18% 향상됐으며, 정밀도가 개선됐다. 따라서 업계에서는 NXE3600의 등장과 함께 장비 생산량이 증가하고, 반도체 수급난도 해결될 것이라고 보고 있다.
귀하신 몸 EUV 노광장비, 없어서 못 판다
7나노 이하 공정을 위해서는 이 EUV 노광장비가 필요하다. 또한 지금은 반도체 수급난이 심하므로 EUV 노광장비가 있어야 하는 곳이 많다. 하지만 현재 ASML이 모든 EUV 노광장비 수요를 채울 수 있는 상황은 아니다. 우선 EUV 노광장비 출하량이 1년에 50대가 채 되지 않는다. ASML은 올해 EUV 노광장비 예상 출하량이 45~50대가 될 것으로 예측했다. 지난 7월에는 2023년까지 EUV 노광장비 생산량을 60대까지 확대할 것이라고도 밝혔는데, 아무리 늘려도 100대가 채 되지 않는다는 의미다.
그럼에도 수요는 계속해서 증가하고 있다. 현재 세계적으로 생산라인을 지속해서 증설하고 있는데, 특히 7나노 이하의 고부가가치 반도체를 생산하는 TSMC, 삼성전자, 인텔 등도 생산라인 증설을 계획하고 있다. 이 때문에 EUV 노광장비에 대한 수요도 함께 증가하고 있다. 하지만 장비 출하량이 제한적이라서 ‘없어서 못 파는’ 상황이 됐다.
이와 관련해 ASML 측은 “현재 사용되고 있는 EUV 노광장비보다 양산성이 개선된 장비 출시를 계획하고 있으며, 출하량도 점차 늘리고 있다”고 언급한 바 있다. 당장은 부족할 수 있지만, ASML은 지속적으로 장비를 개발해 출하량과 양산성도 늘려 나가 반도체 수급난을 해결해 나갈 전망이다.
당분간 반도체 생산업체가 첨단공정을 진행하기 위해서는 ASML의 EUV 노광장비를 필수로 구매해야 한다. 반도체 장비업계 관계자는 “일단 현재 ASML이 대부분의 특허를 차지하고 있다”며 “타 기업도 개발하지 않고 있는 것은 아니지만, 진입하기 어려운 것이 사실”이라고 말했다. 하지만 뒤이어 해당 관계자는 “하지만 업계에서는 EUV 외에도 7나노 미만의 공정을 진행할 수 있는 장비를 개발하기 위해 지속해서 시도하고 있다”고 전했다.
결국, 획기적인 첨단 공정용 장비를 개발하지 않는 이상 ASML의 슈퍼 을 자리는 지속될 것으로 보인다. 오랜 기간 전문성을 살려 외길을 걸어온 것이 현재의 슈퍼 을 자리를 만들어준 것이 아닐까.
글. 바이라인네트워크
<배유미 기자> [email protected]
[Tech Talk] 노광장비 1등 기업, ASML의 성장 비결은? ①
[테크월드=박지성 기자] (편집자 주: Tech Talk는 IT 콘텐츠를 손쉽게 이해할 수 있도록 테크월드의 기자들이 심층 분석한 내용을 바탕으로 직접 제작한 비디오 콘텐츠입니다)안녕하세요? 테크월드 뉴스의 박지성 기자입니다. 한일 무역 갈등의 파장이 매우 큽니다. 일본이 반도체 생산에 필수 소재인 에칭 가스 등에 대한 수출을 규제한 데 이어서, 한국을 화이트 리스트에서 배제했죠.
그리고 이런 움직임은 한국 경제 전체에 대한 우려를 낳고 있습니다. 특히나 힌국의 주력산업이자 일본과 밀접한 관계를 갖고 있는 전자산업은 특히나 그 여파가 클 것으로 예상되고 있죠. 더불어 한편 이런 일련의 사태를 겪으며 우리가 그 동안 잘 알지 못했던 가치 사슬 내의 핵심 기업들, 즉 생태계의 주도권을 장악한 기업들에 대한 관심이 높아지고 있습니다.
이런 맥락에서 이번 달 Tech Talk는 특별히 네덜란드의 한 기업을 조망하고자 합니다. 그 기업은 바로 차세대 반도체의 운명을 쥐고 있는 기업, ASML입니다.
ㅇ 반도체의 핵심공정, 노광
반도체는 웨이퍼, 산화, 노광에서부터 패키징 단계에까지 이르는 8개의 단계를 거쳐서 생산이 되는데요. 이 8개의 공정 중에서도 가장 중요한 공정이 바로 노광 공정입니다.
노광은 실리콘 웨이퍼 위에 반도체의 회로를 빛으로 새기는 단계인데요. 반도체의 설계도이자 반도체 그 자체가 만들어지는 단계죠. 그래서 이 노광 공정은 반도체 전체 생산 시간 중 60%, 비용 측면에서는 약 35%를 차지할 정도로 절대적 중요성을 갖고 있습니다. 그래서 최근 한국에 대한 일본이 수출 규제를 단행한 품목들 역시 모두 이 ‘노광’ 단계를 겨냥하고 있는 것이죠.
이런 노광 공정을 수행하기 위해서는 빛을 발생 시키고 이를 웨이퍼에 새기기 위한 장비가 필요한데요. 워낙 회로도가 미세하다 보니 매우 높은 정교성이 요구돼서 아무나 이런 장비를 만들 수 가 없죠.
ㅇ 노광장비 시장의 점유율
그래서 글로벌 노광 장비 시장은 네덜란드의 ASML과 일본의 니콘 그리고 캐논도키(Cannon Tokki) 단 3곳에 전적으로 의존하고 있습니다. 인포메이션 네트웍스(Information Networks)에 따르면 2018년 2월을 기준으로 네덜란드의 ASML이 시장 점유율 85.3%를 차지하며 시장에서 압도적 1위였고, 니콘이 뒤를 이어 10.3%, 캐논이 4.3%의 시장 점유율을 가지고 있었습니다.
ㅇ 압도적 1위, ASML
압도적인 업계 1위 ASML은 네덜란드의 아인트호벤에 본사를 두고 있습니다. ASML은 1984년 네덜란드의 전자제품 기업 필립스와 ASMI(Advanced Semiconductor Materials International)의 합작으로 탄생했는데요. 처음에는 필립스 옆의 목재 건물에서 시작을 했죠. ASML은 현재 반도체 업계에서 주로 사용하고 있는 불화아르곤(ArF) 기반의 노광장비에서 주도권을 성공적으로 구축했고 그 이 후 지난 수년 간 ASML은 지속적으로 시장 점유율을 확대해 왔죠.
그리고 그 결과 2010년 64%였던 시장 점유율은 2018년 85%로 증가했습니다. 지금도 압도적인 경쟁력이지만, ASML의 입지는 더욱 커질 것으로 예상되고 있습니다. 그 이유는 초미세공정과 EUV 때문인데요.
현재 반도체 업계는 삼성전자와 TSMC를 필두로 10나노 이하 초미세공정 영역으로 진입이 가속화 되고 있는데요.
이 영역에서 필수적인 장비가 극자외선(Extreme Ultra Vilote) EUV 노광장비 입니다. 그런데 ASML은 이미 이 분야에서도 독보적인 경쟁력을 가지고 있기 때문이죠.
ㅇ 시장철수를 준비하는 2,3위 니콘과 캐논
다음은 업계 2위 니콘입니다. 시장에서 2위를 차지하고 있지만 니콘은 오히려 시장에서 철수를 계획하고 있는데요.
2016년 일본 니혼게이자이 신문에 따르면 니콘은 전 임직원의 약 10%에 달하는 1000여 명의 구조조정 계획을 발표한 바 있는데, 이 대부분의 인원이 바로 노광장비와 카메라 사업부에 집중돼 있었죠. 업계 2위라고는 하지만 격차가 너무 큰데다가 한국과 대만의 주요 반도체 생산기업들을 ASML에게 뺏겨서 노광장비 분야에서 흑자를 만들어 내지 못했던 것이 큰 이유로 알려지고 있습니다.
다음은 마지막 3번째 캐논입니다. 노광 기술력의 동력을 상실한 것은 캐논 역시 마찬가지인데요. ASML이 워낙 ArF 단계에서부터 격차를 확대한 상황에서,
캐논은 천문학적 투자가 필요한 차세대 EUV 대신 나노 임프린트 리소그래피(Nano Imprint Lithography, NIL) 대안에 집중해 왔죠. NIL은 광원이 아니라 웨이퍼에 패턴이 그려진 스탬프로 직접 회로를 그리는 방식인데요. 캐논도키는 2010년 대 중반 NIL을 본격 개발하겠다고 했으나, 2019년 현재까지 유의미한 발표 혹은 성과는 발표가 나오지 않고 있습니다.
한마디로 실패했다고 봐도 무방한 거죠. 그래서 최근 업계에서는 캐논도 이제는 반도체 노광장비 보다는 그나마 경쟁력을 확보하고 있는 디스플레이용 노광장비 쪽에 집중하기로 한 것 아니냐는 관측을 하고 있는 상황입니다.
오늘은 반도체 노광장비 시장의 구도 그리고 그 안에서 압도적 경쟁력을 가지고 있는 ASML에 대해서 알아봤는데요. 다음 주 이 시간에는 ASML은 어떻게 이렇게 압도적 1위가 될 수 있었는지 알아보는 시간을 갖도록 하겠습니다. 감사합니다!!
ASML 기술에 대해
ASML에서 일한다는 것
ASML에서 일한다는 것은 창의성과 다양성 그리고 역동적인 글로벌 환경 속의 일원이 된다는 것입니다.
ASML에서는 직원들의 새로운 생각을 제시하고, 이를 실행할 수 있는 환경 속에서 근무하게 될 것입니다. 여러분은 맡은 업무 속에서 자율성과 신뢰, 그리고 구성원들의 지원 속에서 복잡한 문제들을 경험하고 해결하기 위해 노력할 것입니다. 또한 여러분은 지루하지 않은 업무 속에서 새로운 분야를 개척해나갈 것입니다.
새로운 혁신과 빠른 조직 변화 속에서도 ASML은 여러분의 일과 삶의 균형과 여가 활동에 대해서 중요하게 생각합니다. 왜냐하면 ASML은 우리의 성장이 행복한 직원들을 통해서만 가능하다고 믿습니다.
“2025년 반도체 노광장비 중 EUV 비중 60% 넘는다”
[반도체 EUV 생태계 빅트렌드 컨퍼런스]한국반도체산업협회 주관, 디일렉 주최
“High-NA EUV 상용화 대비한 소재·부품 개발 필요”
EUV 컨퍼런스에서 발표 중인 이성우 ASML 이사.
오는 2025년께 반도체 노광장비 시장에서 EUV 비중이 60%를 넘어설 것이란 전망이 나왔다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등 주요 반도체 기업들이 EUV 장비 도입에 나서면서 본격적인 ‘EUV 시대’가 열릴 것이란 관측이다.
또한 지금보다 더 미세한 공정을 위한 High-NA EUV 기술이 도입되는데 맞춰 레지스트, 펠리클 등 소재 개발이 뒤따를 것이란 전망도 나왔다. 아직은 태동기인 국내 EUV 관련 업계가 이런 분야에 투자한다면, 충분히 시장을 선점할 기회가 있다는 지적이다.
22일 서울 포스코타워 역삼 이벤트홀에서 열린 ‘2021 반도체 EUV 생태계 빅 트렌드 릴레이 컨퍼런스’에서 반도체 업계 전문가들은 이같은 전망을 내놨다. 이번 컨퍼런스는 한국반도체산업협회 주최, 전자부품 전문미디어 디일렉 주관으로 열렸다.
EUV는 최근 반도체 업계의 화두다. 반도체 회로 패턴을 그리는 노광공정에서 기존 불화아르곤(ArF) 대신 극자외선(EUV)를 활용해 더 미세하고 촘촘한 회로를 구현하는 게 특징이다. 삼성전자와 SK하이닉스, TSMC, 인텔 등 주요 기업들이 올해 EUV 공정 적용을 본격화하는 추세다. 관련 시장도 활성화되고 있다. 네덜란드 ASML이 EUV 공정용 장비를 독점하고 있는 가운데, 관련 소재·부품 분야에 뛰어드는 국내 소부장 기업들의 움직임도 활발하다.
이날 컨퍼런스에서는 전세계 유일의 EUV 노광장비 생산업체인 ASML, 올해 하반기 EUV 공정을 적용한 D램 양산에 돌입한 SK하이닉스가 EUV 기술 및 업계 현황에 대해 설명했다. 오로스테크놀로지, 에프에스티, 이솔, 에스앤에스텍, 머크, 에드워드코리아, 파크시스템스 등 국내외 주요 반도체 업체들도 각사의 기술현황을 소개했다.
안진호 한양대 교수(신소재공학부)는 ‘EUV 기술 생태계: 어디까지 왔나?’라는 주제의 강연을 통해 “이미 EUV 시대는 열렸고, 기술 진화가 계속되고 있다”며 “하지만 아직도 소재와 부품 성능은 개선할 점이 많다”고 지적했다.
안진호 교수는 “비메모리를 중심으로 도입되던 EUV가 최근에는 메모리 쪽에서도 수요가 급격히 늘어나고 있다”며 “EUV와 관련한 모든 소재, 부품, 장비는 여전히 100% 해외에 의존하고 있어 국내 소부장 업체의 육성이 반드시 필요한 상황”이라고 설명했다.
안 교수는 EUV공정의 다음 단계인 ‘High-NA EUV’에 대한 국내 기업들의 준비도 필요하다고 강조했다. High-NA EUV는 네덜란드 ASML이 개발 중인 장비로, 인텔이 2023년께 초미세공정에 도입하겠다고 발표한 공정 기술이다. 현재 ASML의 EUV장비는 0.33 NA 급인데, 약 3년 뒤부터 0.55 NA를 적용한 장비를 개발하겠다는 게 ASML의 계획이다. NA는 ‘뉴메리컬 어퍼처’의 약자로 우리말로는 ‘개구수’, 즉 렌즈의 크기를 뜻한다. 쉽게 말해 렌즈 크기를 더 키워서 더 많은 빛을 모으고, 이를 통해 더 선명하고 더 미세한 회로를 구현할 수 있는 기술이다.
안 교수는 “ASML이 High-NA EUV 공정을 위해 아나모픽 기술을 활용하고 있다”며 “쉽게 말해 실제 (회로) 이미지의 가로, 세로를 압축해서 찍은 뒤, 이를 스크린에 보여줄 때는 원래 사이즈를 구현하는 방식이라고 보면 된다”고 설명했다. 이어 “High-NA EUV와 관련해 렌즈 크기, 즉 NA를 무한정 크게 만들 수도 없고, 입사광과 반사광의 간섭효과도 최소화해야 하는 등 여러 기술적인 문제들이 선결되어야 한다”며 “마스크와 펠리클 등 EUV 공정에 쓰이는 소재 개발도 병행돼야 한다”고 말했다.
안 교수는 이 과정에서 국내 소부장 기업들이 기회를 찾을 수 있다고 강조했다. 그는 “EUV 시대의 막이 올랐지만, 아직 소재 등에 있어서는 개선할 부분이 많다”며 “태동기에 들어선 우리나라 EUV 소재·부품·장비 업계도 인내심을 갖고, 기술개발과 투자를 하면 시장을 선점할 기회가 충분히 있다”고 말했다.
이어진 세션에서 이성우 ASML 이사는 수년 내 EUV의 보편화를 전망했다. 그는 “전세계 반도체 시장은 2025년까지 7.4% 성장하고 2020~2025년 로직 반도체는 10.9%, D램은 5.7%, 낸드는 6.3% 성장할 것”이라며 “5년 뒤에는 EUV 비중이 60%를 넘어설 것”이라고 관측했다.
이성우 이사는 ASML의 EUV 제품 로드맵도 소개했다. 현재 ASML의 EUV NA는 0.33이다. NA 0.33의 EUV 장비는 기존 NXE:3600D에서 2023년 NXE:3800E, 2025년 이후에는 NXE:4000F를 출시할 예정이다. 이미 출시된 NXE:3600D는 전작인 NXE:3400C보다 스루풋이 18% 이상 높다.
이성우 이사는 “ASML은 NA를 0.55까지 끌어올린 EUV 장비도 개발하고 있다”며 “NA 0.55의 EUV 장비인 EXE:5000은 2023년, EXE:5200은 2025년부터 사용될 전망”이라고 설명했다. 이어 “현재 NXE:3800E와 EXE:5000은 개발 단계, NXE:4000F와 EXE:5200은 현재 개발 개념만 보유하고 있다”고 덧붙였다.
한상준 오로스테크놀로지 부사장은 EUV 공정의 특징과 이에 따른 오버레이 장비 개발의 방향에 대해 설명했다. 오버레이는 반도체 기판의 층들이 수직으로 정렬된 정도를 뜻한다. 오버레이가 제대로 정렬되지 않으면 반도체 수율에 악영향을 미치게 된다.
한상준 부사장은 “향후 반도체 공정 기술은 ArF와 EUV를 혼용해서 사용하는 비중이 늘어나게 되며, 이에 따라 오버레이 계측의 중요성 역시 높아지게 될 것”이라며 “이에 오버레이 계측 장비도 새로운 램프 시스템을 도입하거나 파장을 EUV에 최적화하는 방안으로 나아가는 방안 등을 고려 중”이라고 말했다.
저작권자 © 전자부품 전문 미디어 디일렉 무단전재 및 재배포 금지
글로벌 기업 반도체 장비 확보 경쟁 치열…EUV 노광장비 뭐길래
네덜란드 ASML이 1년에 50대 안팎만 생산…한대에 2천~3천억원반도체 첨단 공정에 필수…삼성·TSMC·인텔, 선점 경쟁글로벌 반도체 업계가 네덜란드산 극자외선(EUV) 노광 장비를 확보하기 위해 치열한 경쟁을 펼치고 있다.반도체 장비 확보가 곧 생산능력 확대라는 인식 아래 그룹 총수까지 나서서 장비 선점에 사활을 걸고 있는 것이다.삼성전자 이재용 부회장은 7일 장비 수급 문제 등을 논의하기 위해 EUV 노광 장비 생산지인 네덜란드로 떠났다.앞서 올해 초 인텔은 2025년부터 적용할 인텔 1.8나노 공정을 위해 네덜란드 ASML의 차세대 EUV 노광장비 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV’ 도입 계약을 체결했다고 발표했다.당시 TSMC와 삼성전자보다 앞서 인텔이 가장 먼저 최신 장비를 확보해 시장을 놀라게 했다.EUV 노광 장비는 말 그대로 EUV 노광 기술을 구현하는 장비다.반도체의 원재료는 지름 30㎝의 실리콘 원판 ‘웨이퍼’로, 노광은 사진을 찍으면 필름에 상이 옮겨지듯이 웨이퍼에 자외선을 쏴 회로를 그리는 작업을 말한다.회로를 얇게 그릴수록 웨이퍼 한 장에서 나오는 반도체 수가 늘어난다.EUV 노광 기술은 짧은 파장의 극자외선(EUV)으로 세밀하게 회로를 그릴 수 있어 7나노 이하 초미세 공정을 구현할 수 있다.급증하는 정보를 처리할 수 있는 고성능 저전력 반도체를 만드는데 필수적인 기술이다.이 기술을 적용하면 회로를 새기는 작업을 반복하는 멀티 패터닝(Multi-Patterning) 공정을 줄일 수 있어 성능과 수율(결함이 없는 합격품의 비율)이 향상되고, 제품 출시 기간도 단축할 수 있다고 업계는 설명한다.삼성전자는 2019년 4월 업계 최초로 EUV 공정을 적용한 7나노 시스템온칩(SoC) 제품을 출하한 데 이어 그해 하반기부터는 6나노 제품 양산을 시작했다.문제는 EUV 노광 장비가 네덜란드 업체인 ASML이 독점 생산하고 있다는 점이다.한대에 2천억~3천억원에 달하는 이 장비는 연간 50대 안팎 정도만 생산된다.유안타증권에 따르면 지난해 연간 ASML의 EUV 장비 출하량은 48대로 그중 대만의 TSMC가 22대, 삼성전자가 15대를 가져간 것으로 전해졌다.올해 예상 장비 출하량은 51대로, TSMC와 삼성전자가 각각 18대와 22대를 확보한 것으로 알려졌다.최근에는 글로벌 반도체 제조사들이 반도체 수요 급증에 대비해 앞다퉈 생산시설을 늘리면서 EUV 노광 장비 확보 경쟁도 더욱 불붙고 있다.삼성전자는 경기 평택캠퍼스의 세 번째 반도체 생산라인 ‘P3’ 공장 완공을 앞두고 있다.또한 네 번째 생산라인 ‘P4’도 착공했고, 미국 텍사스주 테일러시에는 파운드리 2공장을 조만간 착공한다.삼성전자는 이곳에서 EUV 장비를 활용한 최첨단 공정의 반도체를 생산할 계획이다.TSMC도 올해 400억∼440억달러(약 51조∼56조원)의 설비투자 예산을 잡아 놓고 공격적인 투자에 나서고 있다.미국 애리조나주에 120억달러(약 15조원)를 투자해 반도체 공장을 건설하고 있으며, 일본 구마모토(熊本)현에도 새 반도체 공장을 세우고 있다.미국의 인텔도 파운드리 시장 재진입을 선언한 뒤 지난해 4월 200억달러를 투자해 미국 애리조나에 파운드리 공장을 설립한다고 발표했다.올해 1월에도 미국 오하이오주에 200억달러를 투자해 첨단 반도체 공장 2개를 건설한다고 밝힌 바 있다.지난 3월에는 향후 10년간 유럽에 반도체 생산과 연구개발을 위해 110조원을 투자하겠다는 계획도 내놨다.EUV 장비 수요는 급격히 늘어나고 있지만, 그렇다고 출하량을 단숨에 급격히 늘릴 수도 없는 상황이다.EUV 장비는 집채만 한 거대한 시스템 덩어리로, ASML도 수백 개의 부품업체로부터 부품을 받아서 EUV 장비를 조립한다.생산 능력을 확대하려면 수많은 협력사의 뒷받침이 있어야 가능하다.최근에는 전 세계를 휩쓴 반도체 부품난으로 ASML 역시 부품 수급에 어려움을 겪고 있어 장비의 리드타임(주문에서 납품까지 기간)도 훨씬 길어졌다.반도체업계 관계자는 “장비 출하량이 한정된 상황에서 어느 업체가 EUV 장비를 얼마나 확보하느냐에 따라 반도체 시장 판도도 바뀔 수 있다”고 말했다.이창한 한국반도체산업협회 상근부회장은 “ASML도 마음대로 생산량을 늘리지 못하는 데다 반도체 제조사의 공정에 맞게 장비를 튜닝해서 공급해야 하므로 협업이 필요하다”면서 “이 때문에 그룹 총수나 최고경영자들이 나서 ASML과 선계약을 하려는 것”이라고 설명했다.그는 “ASML의 고난도 기술을 따라잡고 이미 형성된 공급망을 뚫고 들어가기는 사실상 어려운 게 현실”이라며 “그러나 한국도 반도체 장비 중 한국만이 공급할 수 있는 핵심 부품을 키워야 글로벌 공급망 속에서 협상력을 가질 수 있다”고 강조했다./연합뉴스
키워드에 대한 정보 노광 장비
다음은 Bing에서 노광 장비 주제에 대한 검색 결과입니다. 필요한 경우 더 읽을 수 있습니다.
이 기사는 인터넷의 다양한 출처에서 편집되었습니다. 이 기사가 유용했기를 바랍니다. 이 기사가 유용하다고 생각되면 공유하십시오. 매우 감사합니다!
사람들이 주제에 대해 자주 검색하는 키워드 한국은 왜 EUV장비를 만들지 못할까? EUV장비 하나로 수퍼을이 된 네덜란드 ASML! (Feat. 반도체 제왕 인텔도 털어버린 ASML)
- 지식
- 지식창고
- 네오
- NEO
- 네오지식창고
- NEO지식창고
- 지식채널
- 경제
- 경제지식
- EUV장비
- 극자외선 노광장비
- ASML
- 삼성전자
- 파운드리
- TSMC
- 인텔
- 반도체
- 인공지능
- 자율주행
- 3나노
- 5나노
- 7나노
- 불화아르곤
한국은 #왜 #EUV장비를 #만들지 #못할까? #EUV장비 #하나로 #수퍼을이 #된 #네덜란드 #ASML! #(Feat. #반도체 #제왕 #인텔도 #털어버린 #ASML)
YouTube에서 노광 장비 주제의 다른 동영상 보기
주제에 대한 기사를 시청해 주셔서 감사합니다 한국은 왜 EUV장비를 만들지 못할까? EUV장비 하나로 수퍼을이 된 네덜란드 ASML! (Feat. 반도체 제왕 인텔도 털어버린 ASML) | 노광 장비, 이 기사가 유용하다고 생각되면 공유하십시오, 매우 감사합니다.