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클린룸 – 나무위키
반도체, 디스플레이 공정에서 주로 사용되고 CLASS 1,000이상의 현존하는 클린룸 중에서 가장 높은 청정도를 얻기위한 방식이다.
Source: namu.wiki
Date Published: 2/10/2021
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[디스플레이 용어알기] 80편: 클린룸(Clean Room)
클린룸(Clean Room)은 디스플레이·반도체 등을 생산하는 팹(FAB)에서 주로 사용되는 건물 내부의 환경 형태입니다. 디스플레이에서 클린룸이란 ‘먼지 …
Source: news.samsungdisplay.com
Date Published: 3/17/2021
View: 8825
반도체라인의 클린룸(Cleanroom)에 대해서 알아보기
앞에서 간략하게 정리했듯이 클린룸은 첨단 반도체와 브라운관, LCD, PDP, AM OLED 등 디스플레이는 물론 가전제품, 휴대폰, 컴퓨터, 식품, 음료, 의약품, …
Source: m.blog.naver.com
Date Published: 6/15/2022
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#2 반도체 클린룸 전기전자공학부 김도영 – KOCw
반도체 클린룸. ◇ 단순의미 : 청정실(淸淨室, 먼지가 없는 깨끗한 영역). ◇ Clean Room 이란? : ▷ 정의 : 제품의 정밀화 고품질화 및 신뢰성을 달성하기 위해.
Source: contents2.kocw.or.kr
Date Published: 4/28/2022
View: 175
[훅INSIDE]먼지 하나 없는 공간, 클린룸을 아시나요? – 헤럴드경제
반도체 공장의 클린룸의 청정도는 클래스라는 등급으로 나타내는데요. 가로세로 높이가 30cm인 입방체 내에, 사람 머리카락 직경의 1/1000 크기의 먼지 1 …
Source: mbiz.heraldcorp.com
Date Published: 8/6/2022
View: 4218
삼성 반도체 ‘클린룸’은 정말 ‘클린’ 했을까? : 노동 : 사회 – 한겨레
반올림과 유가족들이 삼성전자 반도체 공장의 작업환경과 백혈병 사이의 연관관계를 확신하는 이유다. 반도체 공장과 백혈병의 연관성, 클린룸에 진실이?
Source: www.hani.co.kr
Date Published: 1/27/2022
View: 5371
반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템
첨단산업분야의 연구개발과 생산과정에서 중대한. 방해를 초래하는 공기 중 입자(먼지) 및 세균을 제. 거하기 위해서는 클린룸(Clean room, C/R)이라는 청. 정 환경이 필요 …
Source: www.koreascience.or.kr
Date Published: 3/30/2021
View: 2109
우리 #반모 할래? 7탄, 반도체가 제조되는 곳 ‘Fab’ 관련 용어 …
반도체 생산라인 내부는 클린룸(Clean room)이라고 불립니다. 반도체 제조 공정에서는 아주 작은 먼지, 입자 하나라도 들어가면 반도체 품질에 영향을 …
Source: www.samsungsemiconstory.com
Date Published: 1/1/2022
View: 6164
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- Author: SK하이닉스 [SK hynix]
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- Date Published: 2017. 8. 8.
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[디스플레이 용어알기] 80편: 클린룸(Clean Room)
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반도체라인의 클린룸(Cleanroom)에 대해서 알아보기
Clean room을 알아보자 !
반도체와 라면(식품), 의약품의 공통점은 무엇일까요? 정답은 이 제품들 모두 공기 중의 먼지 등 불순물이 거의 없는 청정공간(클린룸)에서 생산된다는 점입니다. 식품이나 의약품은 인간이 섭취해야 하므로 청결해야 하며, 반도체나 LCD, 디지털카메라 같은 첨단 IT제품의 경우도 아주 작은 미세먼지로 인해 오작동이 발생할 수 있어 반드시 엄격하게 통제된 클린룸 내에서만 생산해야 합니다 .
이번에는 반도체 라인의 클린룸(Clean room)의 정의와 등급(Class)에 대해 알아보겠습니다.
◈ 클린룸(Clean room)의 정의
공기중 부유입자, 부유세균의 집중이 제어되도록 필터를 사용하여 여과, 온도, 습도, 공기압, 소음, 정전기, 조도등의 제어에 관하여 환경적으로 제어되는 공간을 크린룸이라 정의합니다.
크린룸의 분류는 크게 ICR(Industrial Clean Room)과 BCR(Biological Clean Room)으로 분류되며 ICR에는 반도체공정,전자기기공정으로 BCR에는 병원,GMP,GLP,HACCP등으로 분류되어 각각의 규정에 맞도록 설계,시공하여 운영하게됩니다.
◈ 클린룸(Clean room)의 필요성
반도체의 생산에서 많은 불량 혹은 고장의 원인으로 세균과 같은 입자(Particle)가 지목되면서 반도체 생산에서 클린룸의 중요성은 매우 높아졌습니다. 따라서 이러한 입자들이 부유하는 곳에서의 생산을 피하는 것이 필수가 되었습니다.
반도체의 경우 공정이 더욱 미세해짐에 따라 이러한 조치는 더욱 필요하게 되었고 특히, 노광(Photo) 공정에서 노광을 방해하는 주요 원인으로 입자(Particle)이 지목되면서 극도의 청정도를 요구하게 되었습니다.
◈ 클린룸(Clean room)의 4대 원칙
① 먼지와 미생물이 실내로 침투하는 것을 방지(침투 방지)
② 실내에서 먼지나 미생물이 발생하는 것을 방지(발생 방지)
③ 실내에 먼지가 쌓이거나 미생물의 활동을 방지(누적 방지)
④ 실내의 먼지와 미생물을 신속히 제거(신속 제거)
◈ 입자(Particle)
입자(Particle)이란 먼지 뿐만 아니라 세균, 바이러스, 금속 가루, 사람 몸에서 나오는 피부세포 등등 공기중에 떠다닐 만한 모든 입자를 이르는 말입니다.
입자들의 크기는 0.1㎛~10㎛ 수준이며, 이 수준으로 쪼개진 입자들은 공기중에 부유하는 것이 가능하고 특히 0.5㎛이하의 입자들은 중력의 힘으로 제대로 침강하지 않기 때문에 이러한 입자들이 문제가 된다면 반드시 클린룸을 설치해야 합니다.
◈ 클린룸(Clean room)의 등급(Class)
클래스(Class)란 클린룸의 청정도를 나타내는 단위를 말하는 것으로, 일반적으로 클래스 뒤에는 숫자가 표되어 있습니다. 이 숫자는 가로와 세로, 높이가 각각 1피트인 정육면체 공간당 포함하고 있는 0.5㎛크기의 먼지 개수를 뜻합니다.
예를 들어 클래스 1000은 1세제곱피트당 크기가 0.5㎛인 먼지가 1000개 가량 포함된 공간을 의미합니다.
앞에서 간략하게 정리했듯이 클린룸은 첨단 반도체와 브라운관, LCD, PDP, AM OLED 등 디스플레이는 물론 가전제품, 휴대폰, 컴퓨터, 식품, 음료, 의약품, 포장용기, 광학렌즈, 필름, 시계, 카메라, 현미경, 통신장비 등 정밀기기에 이르기까지 광범위하게 사용되고 있습니다.
클린룸은 작업 용도에 따라 알맞은 청정도의 시설을 구축하게 됩니다. 물론 어떤 제품을 제조하더라도 청정도가 높을수록 좋겠지만 그만큼 구축비용과 유지비용이 많이 들어 사용 목적에 적합한 클린룸을 구축하는 것이 통례입니다.
다음 표는 보문에서 설명하지 않은 클린룸에서 사용되는 용어 및 앞에서 설명한 용어들을 간단하게 표로 정리해 보았습니다.
용 어 해 설 청정(Clean) 먼지와 오염이 없는 깨끗한 상태 청정도(Cleaness) 일정량의 공기중에 포함된 먼지나 오염의 정도를 말함 1세제곱 Fit의 체적공기에 포함된 먼지의 수로 표시 청정등급(Class) 청정실의 청정도를 구별하기 위해 규정 원어는 Cleaness class이다. 청정실(Clean Room) 먼지가 제거된 상태에서 관리,유지되는 깨끗한 방 먼지(Particle.Dust) 청정실내에 존재하는 모든 먼지나 부유물질 오염(Contamination) 공정, 제품의 기능,신뢰성 등에 결함을 일으키는 모든요소 방진복
(Smock, Clean Room Garment) 사람의 몸에서 발생하는 먼지가 청정실로 빠져나가지 않도 록 착용하는 의복 수율(Yield) 생산된 제품 중 양품이 차지하는 비율
참조 : http://www.wooleeeng.co.kr
디지털타임스
[훅INSIDE]먼지 하나 없는 공간, 클린룸을 아시나요?
[훅INSIDE]먼지 하나 없는 공간, 클린룸을 아시나요?클린룸 내부 전경(사진=SK하이닉스)
클린룸의 청정도를 나타내는 단위 단위, 클래스에 대한 설명
클린룸 외부 전경(사진=SK하이닉스)
클린룸의 내부(사진=SK하이닉스)
그래픽=허연주 디자이너
[HOOC=서상범 기자]먼지. 그 중에서도 미세먼지. 단순히 날씨가 흐리고, 호흡기에 대한 위협을 넘어, 일상을 위협하는 ‘재앙’이 됐습니다. 눈에 보이지도 않던 미세한 존재들의 역습이 시작된 것이죠. 최근 정부는 관련 대한 대책을 세우고, 국민 건강을 위협하는 주요 환경 문제로 대응하기로 했습니다.그런데, 이 먼지, 특히 미세먼지에 대해 완벽에 가깝게 자유로운 공간이 있습니다. 단 하나의 먼지도 용납하지 않는 이 공간은, 통상 축구장 크기의 면적에 단 하나의 먼지가 존재한다고 불리죠.바로 먼지가 전혀 없는 방. 청정실(淸淨室)이라고도 불리는 ‘클린룸(Clean room)입니다. 다소 낯설게 들릴수도 있는 이 곳은, 그러나 우리 삶에서 중요한 역할을 수행중입니다. 특히 정밀성이 요구되는 첨단 산업 현장에서는 필수 요소죠.가장 대표적인 예는 바로 반도체 산업입니다. 일반적으로 반도체가 생산되는 현장을 떠올리면, 방진복을 입은 직원들이 입구에서 에어샤워(먼지를 고속의 청정공기로 제거하는 것)를 한 뒤 일하는 모습을 상상하게 되는데요.바로 이들이 일하는 공간(FAB), 그 전체를 통상적으로 클린룸이라고 부릅니다. 반도체 공장의 클린룸의 청정도는 클래스라는 등급으로 나타내는데요. 가로세로 높이가 30cm인 입방체 내에, 사람 머리카락 직경의 1/1000 크기의 먼지 1개가 있으면 클래스 1.먼지 100개가 있으면 클래스 100이라고 부릅니다.대부분의 반도체 클린룸은 10 또는 1 수준을 유지하는데요. 이를 슈퍼 클린룸이라고 따로 부르기도 합니다. 100~1000사이는 고청정 클린룸이라고 구분하죠.일반적인 대기 상태가 ‘300만‘정도 라고 하니 클린룸의 청결함을 짐작할 수 있습니다.이처럼 반도체 생산환경이 먼지에 극도로 민감한 이유는 바로 작은 먼지 하나가 반도체에 치명적인 작용을 할 수 있기 때문입니다. 반도체 회로의 선폭을 나타내는 단위는 나노미터(nm)입니다. 1 나노는 10의 마이너스 9승. 0.000000001미터에 해당하죠.감이 안 잡히신다면, 머리카락 한 올의 10만분의 1 수준이라고 생각하시면 됩니다.이처럼 미세한 회로로 구성되는 만큼, 단 하나의 먼지라도 회로에 영향을 미쳐 불량을 일으킬 수 있죠. 때문에 반도체 공장의 클린룸은 ‘완벽함’을 항상 유지하기 위한 다양한 장치로 구성돼있습니다.앞서 언급한 방진복과 에어샤워는 기본이고, 천장과 바닥에 설치된 필터와 공기순환기를 통해 24시간 깨끗한 공기를 유지하고 있죠.공기 뿐 아니라 물 역시 먼지 제거에 주요한 역할을 합니다. 반도체의 공정에는 세정이란 단계가 있는데요. 반도체의 기반이 되는 웨이퍼 표면에 혹시라도 묻을 수 있는 먼지를 제거하기 위해 물을 이용해 표면을 씻는 작업을 말합니다.여기에 사용되는 물도 일반적인 물보다 더 등급이 높은 ‘초순수 물’이라고 부릅니다. .여기에 온도와 습도 역시 중요한 요소입니다. 단순히 깨끗한 공간을 넘어, 반도체 제조에 최적화된 환경을 유지하는 곳을 클린룸이라고 부르는 이유죠.한편 반도체 산업 외에도 클린룸은 다양한 현장에서 사용됩니다. LCD 패널, 휴대폰 등 전기전자 업종은 물론, 대규모 공장이 아닌 소규모 첨단 산업에서도 그 역할을 하고 있죠.산업용 클린룸만이 존재하는 것은 아닙니다. 우선 무균, 유해균 실험실과 감염을 예방하는 특수치료 등 의료계에서도 위에서 언급한 고청정 클린룸이 사용됩니다.또 보급형 클린룸 역시 다양한 현장에서 사용되고 있는데요. 반도체에 적용되는 슈퍼클린룸과 고청정 클린룸이 적게는 수십억에서, 많게는 수천억, 조단위의 비용이 드는 것에 비해, 보급형은 필요한 장비와 기능만 취사선택할 수 있어 구축비용은 수천만원에서 수억원 정도입니다. 식품과 화장품 산업에서 제조관리 기준과 각종 인증을 받는데 주로 사용되죠.이처럼 다양한 현장에서 사용되는 클린룸이 의미가 있는 이유는, 단순히 먼지가 없는 깨끗한 환경을 유지한다는 것에 있지 않습니다.완벽한 환경을 바탕으로, 완벽한 제품을 만들고자하는 노력의 근간이기 때문입니다. 물론 이에 드는 비용 등 투자는 상상을 초월합니다.SK 하이닉스는 올해만 신규 클린룸 구축 등 반도체 투자에 9조원 이상을 투자한다고 밝혔죠.중소 규모의 회사들 역시 수십억에서, 수백억원의 비용을 투입하고 있죠. 한 중견 화장품 회사 관계자는 “화장품 회사가 왜 클린룸에 수십억원을 쏟냐는 시선도 있다. 그러나 인체에 직접적으로 닿는 화장품인만큼, 제품의 청정함과 무해함에 대해 투자하는 것은 결코 과하지 않다고 생각한다. 이미 화장품 회사들의 10% 이상이 제조공정에서 클린룸을 구축하고 있다”고 말하기도 했습니다.반도체 회사들 역시 마찬가지입니다. 소비자의 눈에 당장 보이지 않는 미세한 반도체이지만, 휴대폰, PC 등 우리 삶을 풍요롭게 하는 모든 전자제품의 핵심적 역할을 하기에, 완벽을 위해 천문학적인 비용과 노력을 쏟고 있는 것이죠.이처럼 보이지 않는 곳에서, 미세한 먼지와의 사투를 벌이고 있는 클린룸. 그리고 이 클린룸을 구성하고 있는 사람들. 완벽을 향해 나아가는 이 들이 있기에 우리 일상의 편리함이 존재하고 있다는 것을 떠올려보면 어떨까요?
삼성 반도체 ‘클린룸’은 정말 ‘클린’ 했을까?
[기획] 삼성전자 백혈병, 그 어두운 진실 ②34명이 암에 걸려도, 삼성전자 “우린 관련없다”
“방진복은 칩 보호용…노동자는 화학약품 노출”
“누가 죽였어. 내 새끼. 누가 죽였어. 아이고. 아이고.”
칠순을 넘긴 박사금씨의 통곡은 멈추지 않았다. 지난 3월 31일 서울 여의도 성모병원 장례식장. 박씨의 손녀 박지연씨는 영정사진 속에서 곱게 웃고 있었다. 칠순 할머니는 그 모습이 더 서러웠다. 지연씨는 삼성전자 온양 반도체 공장에서 일하다 2007년 9월 백혈병 판정을 받았다. 2년 6개월, 백혈병은 박씨의 가냘픈 몸을 갉아먹었다. 결국, 항암치료로 머리가 다 빠진 채 스물 세 살 젊음은 영정 속 한 떨기 꽃이 되었다.
옆에서 지켜보던 황상기(56)씨의 눈가에도 눈물이 맺혔다. 삼성전자 기흥공장에서 일하던 딸 황유미씨를 잃었던 3년 전의 기억이 스쳐갔다. 황씨는 박씨의 사망 소식을 듣자마자 속초에서 서울까지 한 걸음에 달려왔다. 박지연씨처럼, 황유미씨처럼 건강했던 ‘반도체 산업역군’들이 백혈병에 쓰러져 잇따라 숨을 거뒀다. 반도체 산업 노동자들의 건강문제를 지원해온 시민단체 ‘반올림’의 집계를 보면, 삼성전자 반도체 공장에서 일하다 조혈계 암에 걸린 노동자가 34명이다. 이 가운데 벌써 13명이 세상을 떠났다.
영정 속 한 떨기 꽃으로…34명 조혈계 암, 벌써 13명 숨져
삼성전자는 “우리와 관련 없다”는 입장만 되풀이하고 있다. 근로복지공단도 “삼성전자 반도체 공장에서 일어난 백혈병은 산업 재해로 볼 수 없다”고 결정했다. 근로복지공단이 ‘삼성 백혈병 환자들’을 산업재해로 인정하지 않은 이유는 산업안전보건연구원의 역학조사 결과다. 연구원은 2008년 12월 “삼성반도체 공장 조사 결과 백혈병을 유발할만한 증거를 찾을 수 없었다”며 “2007년까지 지난 10년간 전체 반도체 산업 종사자 22만 9683명을 대상으로 조사한 결과 여성의 경우 암 발병 비율이 1.31배 높을 뿐이어서 통계적 의미가 없고 남성은 오히려 일반인보다 낮은 수준”이라고 발표했다.
그러나 백혈병 피해자들과 유가족들은 삼성전자와 근로복지공단의 산재 불인정을 전혀 인정하지 않는다. 반올림은 “삼성이 세팅해 놓은 상태에서 이뤄진 공장 역학조사가 정확할 수 없고, 반도체 산업 전체 종사자를 상대로 암발병률 통계를 낸 것은 제조공장만의 위험성을 희석시킨 결과”라고 반박했다. 노동자들의 암 발병이 집중된 삼성전자 반도체 공장 1,2,3라인만을 대상으로 통계를 내면 암 발병률이 매우 높다는 것이다. 실제 삼성반도체에서 일하다 백혈병을 얻어 숨진 고 이숙영씨와 황유미씨는 같은 공장 같은 작업대에서 일했다. 20~30대 젊은층이 백혈병에 걸릴 확률은 4만분의 1이다. 한 공장에서 일했던 두 사람이 동시에 걸릴 확률은 그 제곱인 16억분의 1이다. 반올림과 유가족들이 삼성전자 반도체 공장의 작업환경과 백혈병 사이의 연관관계를 확신하는 이유다.
반도체 공장과 백혈병의 연관성, 클린룸에 진실이?
도대체 그들은 어떤 환경에서 일을 했을까?
백혈병 노동자들이 주로 일한 작업실, 즉 클린룸을 둘러싼 의문이 커지고 있다. 증언은 쏟아진다. 이곳에서 일했던 퇴직 노동자들과 엔지니어들은 삼성전자 반도체 공장의 작업 환경이 매우 위험했다고 한결같이 증언하고 있다. 삼성전자 반도체 공장이 안전하다고 말하고 있는 쪽은 삼성전자 쪽과 산업안전공단뿐이다. 과연 누구의 말이 진실일까. 삼성전자 반도체 공장의 ‘클린 룸’은 정말 ‘클린’했을까?
반도체 산업은 흔히 ‘굴뚝 없는 산업’이라 불린다. 환경오염 없는 깨끗한 산업이란 뜻이다. 텔레비전 카메라에 잡히는 반도체 공장은 늘 깨끗하게만 보인다. 하얀 방진복을 입고 일하는 노동자들은 첨단산업의 역군처럼 세련된 이미지다. 그러나 삼성전자 반도체 공장에서 1995년부터 2007년 초까지 11년간 일하다 퇴사한 노동자 정애정(34)씨는 “카메라가 반도체 공장 안의 냄새까지 전달하진 못한다”고 반박했다.
정씨는 “처음 공장에 들어갔을 때 ‘텔레비전에서 봤던 방진복을 입고 내가 일하는구나’하고 신기하기만 했다”며 “그러나 공장 안에서는 텔레비전 화면에서 보이지 않던 화학 약품 냄새가 진동을 했다”고 증언했다.
정씨는 11년간 삼성반도체 기흥공장 5라인에서 생산직 노동자로 일했다. 그는 삼성 반도체 기흥공장에서 엔지니어로 일하다 백혈병을 얻어 2005년 숨진 고 황민웅씨의 아내이기도 하다. 취재진과 만난 정씨는 삼성반도체 공장의 작업 환경에 대해 꽤 자세하게 털어놓았다.
“카메라가 클린룸의 냄새까지 전달하진 못한다”
2010년 4월 15일 삼성전자 반도체공장에서 일하다 숨진 고 황민웅씨의 아내 정애정씨가 서울 서초동 삼성본관 앞에서 시위를 하고 있다. 허재현
“화학물질을 한두 개 사용하는 게 아니에요. 어떤 걸 사용하는지도 몰라요. 보통 한 공정에서 사용하는 화학물질만 3~4가지에요. 엔지니어들에게 물어보면 분자식도 복잡해요. 이게 어떻게 화학 반응을 하는지 아무도 몰라요. 발암 물질인지 연구된 것도 없지요. 가스(흄)가 나오면 방독면이 없으니 다 들이마시지요. 아무리 저농도로 마신다고 해도 오랫동안 만성적으로 노출되면 위험한 것은 당연합니다.”
그나마 정씨는 비교적 최신 설비가 갖춰진 5라인에서 일했기 때문에 백혈병 발병 노동자가 집중된 1,2,3라인보다 환경이 좋은 편이었다. 5라인에서는 대부분의 공정이 기계가 사람을 대신해 작업했지만, 1~3라인에서는 그렇지 못했다는 것이다.
삼성전자 기흥공장에서 일했던 장기원(34·가명)씨도 1~3라인의 작업 환경과 관련해 비슷한 증언을 했다. 장씨는 1993년 입사해 기흥공장 1라인에서 생산직 노동자로 근무하다 1998년 퇴직했다. 공장 일을 시작하고 5년 만에 얻은 임파선암 때문이었다. 장씨는 “1라인 공장은 대부분 수동 설비라 거의 손으로 작업을 해야 했다”고 말했다.
“공장에서는 황산과 암모니아 같은 가스 냄새가 진동을 했어요. 웨이퍼(반도체 재료)를 화학물질에 담그는 것만 로봇이 하고 나머지는 손으로 작업했어요. 8라인은 작업대마다 벽으로 차단되어 있는데 제가 일한 1라인은 다 오픈되어 있었어요. 여기저기서 나오는 무엇인지도 모르는 냄새를 다 들이마셨어요.”
숨진 황유미씨가 일했던 3라인이 가장 낡아
2003년 10월 삼성반도체 기흥공장에 입사한 뒤 2005년 6월 백혈병 진단을 받은 고 황유미씨. 그는 어떤 환경에서 일했을까.
“저는 디퓨전(diffusion) 공정과 세척공정 등에서 일했어요. 화학물질이 여러 개 담긴 수조 앞에서 수동으로 웨이퍼 세척작업 등을 했어요.” (고 황유미씨 생전 증언)
“3라인은 삼성에서 가장 오래된 라인인데 1년에 적어도 8~10번 낡은 배관이 터지는 사고가 있어 라인이 서기도 했어요. 이때 클린룸 안에 있던 사람들이 밖으로 나오지 못하고 화학물질 터져 나온 것을 고무장갑만 끼고 직접 닦았어요.” (고 황유미씨와 같이 근무한 동료의 증언, 근로복지공단 문답서)
죽음의 연기를 차단할 인터락마저 해제?
클린룸과 관련한 중요한 논쟁의 하나는 안전장비와 안전장치(인터락)가 위험한 작업환경으로부터 노동자들을 충분히 보호할 수 있었느냐는 것에 모인다.
삼성전자는 “노동자들에게 지급된 안전 장구와 자체 안전장치(인터락)가 있어 노동자들이 위험에 노출됐을 가능성은 없다”고 해명해왔다. 취재진과 만난 노동자와 엔지니어들은 “방진복은 칩 보호용이었을 뿐 노동자 보호용은 아니었으며 생산량을 늘리려고 안전장치를 풀고 일한 적도 많았다”고 정면으로 반박했다.
1~3라인보다 상황이 좋았던 5라인에서 근무했던 정애정씨의 증언은 생생하다. “제가 일했을 때는 작업 결과에 따라 A,B,C,D 그룹으로 나뉘어 인사 고과를 평가받았어요. A 그룹은 월급받을 때 기본급의 100%에다 금일봉까지 얹어서 받았고, B 그룹은 기본급의 50%를 얹어줬어요. 그러니 각 조에서는 생산량을 늘리기 위해 물불 안 가리고 일하게 돼요. 작업 속도를 늘리기 위해 인터락을 해제하고 일한 경우가 많았습니다.”
“인터락 해제, 엔지니어가 더 위험”
작업실 노동자뿐 아니라 인터락을 해제한 것과 관련해 엔지니어들의 주장도 일치한다. 삼성전자 기흥공장에서 설비 유지보수와 전체 공정관리 업무를 맡았던 김태원(가명) 전 삼성전자 과장의 증언을 확보했다. 김 전 과장은 1998년부터 7년여 간 엔지니어로 기흥공장에서 일하다 2003년 12월 희귀병인 베게너 육아종 진단을 받고, 장기간 치료를 받아오다 지난 4월 삼성전자를 퇴사했다.
김 전 과장은 “생산량 경쟁을 시키기 때문에 작업 속도를 늦추는, 불필요한 인터락을 해제하고 일할 수밖에 없었다”며 “노동자들의 요구에 따라 안전에 치명적인 것을 제외하고 하루 평균 70~80건의 인터락을 해제해주었다”고 털어놨다.
특히 그는 “기계가 오작동을 일으키면 작업을 중단하고 기계를 보수해야 하는 ‘유지관리보수’나 설비를 설치(셋업·set up)할 때는 안전과 직결되는 인터락을 해제하는데, 이 경우 엔지니어들이 위험할 수 있다”고 주장했다. 인터락이 해제되면 독성가스인 인화수소(phoshphine) 등이 누출돼 작업실 노동자가 아니라 엔지니어들에게 오히려 큰 위협이 될 수 있다는 증언이다.
김 전 과장은 작업실 노동자에게 지급되는 방진복에 대해서도 “클린 룸 안에서 일하는 노동자들의 몸에서 미세물질들이 떨어지지 않게 하기 위해 방진복과 마스크를 착용하는 것일 뿐 노동자들이 가스(흄)을 들이마시는 것을 차단해주지는 못했다”고 털어놓았다.
전문의들 “정체불명 화학물질 백혈병 유발 가능성”
이처럼 “정체불명의 화학물질(흄)을 노동자들이 흡입했다”는 것이 노동자들의 백혈병 발병의 중요 단서가 될 수 있다. 황유미씨를 치료한 아주대학교병원 박아무개 교수(종양혈액내과)는 의사 소견서에서 “황씨의 백혈병은 장기간의 화학물질 노출이 그 발병에 일정 부분 기여하였을 가능성을 배제할 수 없다”고 주장했다. 김현주 단국대학교 의과대학 교수(산업의학 전문의)도 “노동자들이 낮은 수준의 전리 방사선과 에틸렌옥시드, 포름알데히드 등의 암 유발물질에 상당한 정도로 노출된 것이 백혈병 발병과 연관 있을 수 있다”고 말했다.
“클린룸 견학은 삼성의 쇼”
4월 15일 경기도 용인시 소재 삼성 나노시티 기흥캠퍼스에서 열린 ‘반도체 제조공정 참석한 기자들이 삼성전자 반도체 5라인에 들어가 반도체 공정 엔지니어에게 반도체 제조 공정에 대해 설명듣고 있다. 삼성전자 제공
논란이 확산하자 삼성전자는 지난달 15일 100여명의 기자들을 초청해 기흥 반도체 공장 5라인을 공개했다. 조수인 삼성전자 반도체사업부 메모리 담당 사장이 직접 참석해 기자들에게 삼성반도체 공장의 ‘클린’ 상태를 해명했다. 조 사장은 이날 “반도체 사업장에는 유독 물질이 없으며, 방사선 노출 장치 등 시설 설비 면에서 백혈병과 관련이 없다”고 말했다.
그러나 이날 공개한 5라인은 백혈병 노동자들이 일했던 1~3라인의 작업환경과 전혀 달랐다. 또, 1시간여 만에 모든 공정을 눈으로 둘러보는 ‘견학’에 불과했다는 지적이 일었다. 반올림과 유족들은 “삼성전자가 쇼를 한다”고 맹비난했다
고 황민웅씨의 아내인 정애정씨는 이날 아침 서울시 서초동 삼성본관 앞으로 나와 삼성에 호소했다. “저도 들어가서 기자들과 함께 공장을 보게 해주세요. 제가 일했던 공장이 어떻게 변했는지 기자들에게 설명해줘야 하지 않겠습니까.”
현장에 나와 있던 삼성전자 관계자들은 “다음 기회에”라는 말만 되풀이할 뿐이었다. 정씨는 분에 못 이겨 울음을 터뜨렸다.
“역학조사” 약속은 언제쯤…‘제2의 박지연’ 나올라.
조 사장은 이날 기자회견에서 “유가족들이 지정하는 기관까지 포함할 가능성을 열어두고 컨소시엄을 구성해 삼성반도체 공장 역학조사를 다시 하겠다”고 밝혔다. 그러나 아직까지 구체적 일정과 계획에 대해선 발표는 없었다. 꽃다운 젊은이들이 죽은 원인을 밝혀줄 삼성전자 반도체 공장 ‘클린룸’은 여전히 1급 보안의 성역일 뿐이다. 그 안에서 ‘제2의 박지연·황유미’들이 원인을 알 수 없는 화학가스를 마시며 죽어가고 있는지도 모른다. 영상 김도성 피디, 글 허재현 기자 [email protected]
우리 #반모 할래? 7탄, 반도체가 제조되는 곳 ‘Fab’ 관련 용어 알아보기 – 삼성반도체이야기
반도체가 탄생하는 곳을 우리는 ‘팹(Fab)’이라고 부릅니다. Fab은 제조를 뜻하는 ‘Fabrication’을 줄인 말로, 반도체 업계에서는 반도체 제조 시설을 의미하는데요. 오늘 ‘쉽게 알아보는 반도체 모임, #반모’ 에서는 Fab과 관련된 핵심 용어를 정리해 봤습니다.
먼지 한 톨도 허용되지 않는 곳, 클린룸(Clean room)
반도체 생산라인 내부는 클린룸(Clean room)이라고 불립니다. 반도체 제조 공정에서는 아주 작은 먼지, 입자 하나라도 들어가면 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는데요. 이는 클린룸이 외부 환경과는 다른 아주 높은 수준의 청정도를 유지해야 하는 이유입니다.
공간의 청정도를 나타내는 척도는 ‘클래스’인데요. 클래스는 가로, 세로, 높이가 각 1피트인 1입방피트 안에 0.5 마이크로미터 이상 크기의 입자 수가 얼마나 되는지를 나타냅니다. 예를 들어, 클린룸의 클래스가 1,000이라고 하면, 0.5마이크로미터 이상 크기의 입자가 1,000개 이하인 공간이라고 할 수 있죠.
삼성전자 반도체 클린룸 내부에는 천장의 먼지를 걸러주는 고성능 필터가, 바닥에는 격자 모양의 미세한 구멍이 있습니다. 위에서 아래로 공기가 순환하는 구조를 통해 청정한 환경이 유지되고 있는 것이죠.
생산 환경에 최적화된 라인 내부로 들어가기 위해서는 근무자 역시 특별한 복장인 ‘방진복’을 착용해야 하는데요. 방진복은 먼지 등 미세한 입자들이 빠져나가지 않게 하는 기능은 물론, 반도체 집적회로에 영향을 줄 수 있는 정전기를 방지하는 기능도 갖추고 있습니다.
웨이퍼의 효율적인 이동을 돕는 택배 상자 ‘FOUP’과 운송 차량 ‘OHT’
반도체는 3주 이상의 기간 동안 8대 공정으로 대표되는 단계들을 수백 차례 오가며 탄생합니다. 이 과정에서 웨이퍼가 넓은 Fab 안에 있는 다양한 설비들로 효율적으로 이동할 수 있도록 해주는 것이 FOUP(Front Opening Unified Pod/Front Opening Universal Pod)과 OHT(Overhead Hoist Transport)입니다.
FOUP은 웨이퍼를 보관하거나 안전하게 이동할 수 있게 고안된 용기로, 웨이퍼 배송 전용 상자라고 할 수 있습니다. 그리고 이 상자를 필요한 곳으로 이동시켜주는 배송 차량이 바로 OHT죠. OHT는 Fab 내부에서 가장 눈에 띄는 설비 중 하나인데요. Fab 천장에 도로처럼 설치된 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 FOUP을 필요한 설비로 빠르게, 자동으로 운송하는 역할을 합니다.
OHT 시스템은 자율 주행 시스템과 유사한데요. 이동 시 기기 간 충돌을 방지하고 장애물을 감지할 수 있는 센서가 탑재돼 있어, 위험이 발생할 경우 자동으로 감속해 안전한 이동이 가능하기 때문입니다. 반도체 라인의 생산 효율성은 OHT를 통해 크게 향상될 수 있었습니다.
반도체 생산라인은 직접 들어가 체험해보기 힘든 공간인 만큼 반도체에 관심 있는 분들에게 더욱 신기한 공간일 것 같습니다. 오늘 소개해 드린 내용이 여러분의 호기심을 해소해 줄 수 있길 바라며, 다음 #반모 도 기대해 주세요!
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