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#ASML #EUV #반도체공정
*이 영상은 ASML의 지원을 받아 제작하였습니다*
주연의 시각으로 푸는 기술 이야기를 담은 시리즈 [주Q멘터리] 입니다.
어릴 때부터 과학다큐를 좋아해서 이런 시리즈를 꼭 한 번 만들어 보고 싶었어요!
전문분야의 기술 취재 지원이 필요하고, 제작에 많은 시간이 들어가는 시리즈이다 보니 자주 업로드 하지는 못할 것 같지만, 앞으로도 종종 [주Q멘터리]를 통해 [우리가 흔히 쓰는 물건들에 담긴 재밌는 기술 이야기들] 들려드릴게요.
첫 번째 편은 ‘반도체’에 관한 이야기 입니다.
그 중에서도 특히 요즘 반도체 산업에서 가장 주목 받고 있는 기술인 EUV에 대해 다뤄봤습니다.
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✔️ 기획/제작: 김주연
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반도체 장비업체 톱4, 모두 한국으로…기대감 부푸는 업계
“반도체 장비업체 “톱4″가 모두 한국 투자를 결정한 것은 기술 경쟁력 확보 측면에서 매우 고무적인 일입니다.”반도체업계 한 관계자는 10일 세…
Source: news.mt.co.kr
Date Published: 11/9/2021
View: 6200
반도체 장비 | 제품소개 | 주성엔지니어링
반도체 장비 · SDP CVD (CVD & ALD) · TSD CVD · SD CVD (CVD&ALD) · UHV CVD · DRY ETCH.
Source: www.jseng.com
Date Published: 11/18/2021
View: 7309
‘반도체 장비’ 받으려면 30개월 걸린다… 삼성전자·SK하이닉스 …
반도체 장비 받으려면 30개월 걸린다 삼성전자·SK하이닉스 비상 생산량 늘릴 핵심 장비 수요 급증 부품 부족, 공급 제약 장비 산업 강타 당분간 장비 …
Source: biz.chosun.com
Date Published: 8/10/2022
View: 8297
반도체장비 – 로보스타
반도체장비. Global Leader in Robotics & Automation. 반도체 제조공정의 핵심 역할인 이송 및 적재용으로 활용되는 제조용 로봇(Transfer 로봇)과 각종 반도체 공정 …
Source: www.robostar.co.kr
Date Published: 11/17/2022
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[스페셜리포트]글로벌 반도체 장비 빅4 ‘점유율 70%’…투자
시장조사업체 가트너에 따르면 미국 AMAT, 네덜란드 ASML, 미국 램리서치, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등 반도체 장비 업체 상위 4개사 점유율은 2021년 70% …
Source: www.etnews.com
Date Published: 11/2/2022
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반도체 장비 받는데 2년 6개월 걸린다…속타는 삼성·SK – 한국경제
5일 글로벌 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 ASML, 램리서치, 어플라이드머티리얼즈 등이 제조하는 반도체 장비 리드타임(제품을 생산해 배송하는 …
Source: www.hankyung.com
Date Published: 2/27/2022
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한미반도체 – 글로벌 반도체 장비기업
글로벌 반도체, 레이저 장비 개발 및 생산 전문 업체.
Source: www.hanmisemi.com
Date Published: 12/22/2022
View: 1483
반도체기술장비교육센터
반도체장비통신기술과정(2차). 2022.08.24~08.26 [3일, 20시간], 2022.07.18~08.23. 반도체공정 실습과정(15차). 2022.08.24~08.24 [1일, 7시간], 2022.07.18~08.15.
Source: setec.koreatech.ac.kr
Date Published: 7/24/2021
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주제에 대한 기사 평가 반도체 장비
- Author: 주연 ZUYONI
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- Date Published: 2020. 8. 25.
- Video Url link: https://www.youtube.com/watch?v=wH7D8V47etk
반도체 장비업체 톱4, 모두 한국으로…기대감 부푸는 업계
/사진 = 김지영 디자인기자 “반도체 장비업체 ‘톱4’가 모두 한국 투자를 결정한 것은 기술 경쟁력 확보 측면에서 매우 고무적인 일입니다.”
반도체업계 한 관계자는 10일 세계 주요 반도체 장비업체들의 ‘한국행 러시’에 대해 이같이 말했다. 반도체 초격차 확보를 위해 동분서주하는 국내 업계가 글로벌 장비업체들과 함께 적극적인 경쟁력 확보에 나설 수 있다는 바람이 내포된 발언이다. 이들 업체가 부품 조달을 대부분 국내에서 하겠다고 밝히면서 국내 장비업체들 사이에서 실적 향상에 대한 기대도 나온다.
세계 최대 반도체 장비 업체 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)는 최근 산업통상자원부·경기도와 함께 한국에 연구개발(R&D) 센터를 건립하겠다고 공식 발표했다. 구체적인 위치와 투자유치 규모, 시기는 확정되지 않았지만 용인·평택·화성·이천 등 반도체 허브가 갖춰진 경기도에 첨단 R&D 센터를 지을 것으로 보인다. AMAT는 반도체 제조 공정에 사용되는 식각·증착 장비 부문에서 독보적인 기술을 보유한 업체다.
업계 1위인 AMAT의 투자가 확정되면서 세계 4대 반도체 장비업체가 모두 한국에서 연구·생산시설을 운영하게 됐다. 네덜란드 ASML은 지난해 경기도·코트라(KOTRA)와 2400억원을 투입하는 투자 협약을 체결했다. 미국 램리서치는 경기 용인에 최첨단 장비 개발을 담당하는 ‘코리아 테크놀로지 센터’를 열었고 도쿄일렉트론(TEL)은 평택에 기술지원센터를 연 데 이어 화성에도 신규 R&D 센터를 구축했다.
세계 2위 전기차용 전력반도체 기업인 미국 온세미도 2025년까지 경기도 부천에 1조 4000억원을 투자할 계획이다. 산업부가 발표한 국가전략사업인 실리콘카바이드(SiC) 소재 전력반도체 연구와 제조시설 구축에 투자금이 사용된다.
주요 장비 기업들이 한국 진출을 서두르는 것은 세계 시장에서 높은 점유율을 확보한 국내 대형 반도체 제조사들과 가까이에서 협력해야 할 필요 때문이다. 한국은 메모리 반도체 시장에서 70% 가까운 점유율로 압도적인 1위, 파운드리(반도체 위탁생산) 시장에서 점유율 14%로 세계 2위다.
미·중 갈등으로 서구권의 장비 기업들이 중국 제조업체들과는 협력이 어렵다는 점도 한국행에 영향을 미친 것으로 분석된다.
국내 반도체업체들은 반도체 장비업체들과 협력을 강화해 기술 초격차 확보에 속도를 내겠다는 복안이다. 이재용 삼성전자 부회장은 지난달 네덜란드 현지 AMSL 본사를 직접 찾아 피터 베닝크 ASML CEO(최고경영자)를 직접 만났다. 최태원 SK그룹 회장도 이 부회장과 함께 지난 5월 서울에서 열린 ‘한미 비즈니스 라운드 테이블’에서 개리 디커슨 AMAT CEO를 만났다.
업계에서는 반도체 장비업체들의 한국 진출이 늘면 중장기적으로 장비 공급 불안 해소에 도움이 될 것이라는 분석도 나온다. 장비 부품 수요가 늘고 관련 투자가 확대되면 국내 반도체 업계가 활성화할 것이라는 전망도 나온다. 온세미는 전력반도체 소재·부품·장비를 국내 업체로부터 3500억원 이상 구매할 계획이다. 2000명 이상의 국내 직원을 고용한 AMAT는 국내 연구 인력을 추가 채용할 방침이다.
업계 관계자는 “국내에 투자를 결정한 반도체 장비업체들은 글로벌 장비 시장에서 과반 이상의 점유율을 차지하고 있는 핵심 기업”이라며 “삼성 계열사인 세메스를 중심으로 한 국내 반도체 장비업체들에게도 기술 이전과 매출 확대 등 긍정적인 영향을 줄 것”이라고 말했다. 반도체업계 한 관계자는 10일 세계 주요 반도체 장비업체들의 ‘한국행 러시’에 대해 이같이 말했다. 반도체 초격차 확보를 위해 동분서주하는 국내 업계가 글로벌 장비업체들과 함께 적극적인 경쟁력 확보에 나설 수 있다는 바람이 내포된 발언이다. 이들 업체가 부품 조달을 대부분 국내에서 하겠다고 밝히면서 국내 장비업체들 사이에서 실적 향상에 대한 기대도 나온다.세계 최대 반도체 장비 업체 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)는 최근 산업통상자원부·경기도와 함께 한국에 연구개발(R&D) 센터를 건립하겠다고 공식 발표했다. 구체적인 위치와 투자유치 규모, 시기는 확정되지 않았지만 용인·평택·화성·이천 등 반도체 허브가 갖춰진 경기도에 첨단 R&D 센터를 지을 것으로 보인다. AMAT는 반도체 제조 공정에 사용되는 식각·증착 장비 부문에서 독보적인 기술을 보유한 업체다.업계 1위인 AMAT의 투자가 확정되면서 세계 4대 반도체 장비업체가 모두 한국에서 연구·생산시설을 운영하게 됐다. 네덜란드 ASML은 지난해 경기도·코트라(KOTRA)와 2400억원을 투입하는 투자 협약을 체결했다. 미국 램리서치는 경기 용인에 최첨단 장비 개발을 담당하는 ‘코리아 테크놀로지 센터’를 열었고 도쿄일렉트론(TEL)은 평택에 기술지원센터를 연 데 이어 화성에도 신규 R&D 센터를 구축했다.세계 2위 전기차용 전력반도체 기업인 미국 온세미도 2025년까지 경기도 부천에 1조 4000억원을 투자할 계획이다. 산업부가 발표한 국가전략사업인 실리콘카바이드(SiC) 소재 전력반도체 연구와 제조시설 구축에 투자금이 사용된다.주요 장비 기업들이 한국 진출을 서두르는 것은 세계 시장에서 높은 점유율을 확보한 국내 대형 반도체 제조사들과 가까이에서 협력해야 할 필요 때문이다. 한국은 메모리 반도체 시장에서 70% 가까운 점유율로 압도적인 1위, 파운드리(반도체 위탁생산) 시장에서 점유율 14%로 세계 2위다.미·중 갈등으로 서구권의 장비 기업들이 중국 제조업체들과는 협력이 어렵다는 점도 한국행에 영향을 미친 것으로 분석된다.국내 반도체업체들은 반도체 장비업체들과 협력을 강화해 기술 초격차 확보에 속도를 내겠다는 복안이다. 이재용 삼성전자 부회장은 지난달 네덜란드 현지 AMSL 본사를 직접 찾아 피터 베닝크 ASML CEO(최고경영자)를 직접 만났다. 최태원 SK그룹 회장도 이 부회장과 함께 지난 5월 서울에서 열린 ‘한미 비즈니스 라운드 테이블’에서 개리 디커슨 AMAT CEO를 만났다.업계에서는 반도체 장비업체들의 한국 진출이 늘면 중장기적으로 장비 공급 불안 해소에 도움이 될 것이라는 분석도 나온다. 장비 부품 수요가 늘고 관련 투자가 확대되면 국내 반도체 업계가 활성화할 것이라는 전망도 나온다. 온세미는 전력반도체 소재·부품·장비를 국내 업체로부터 3500억원 이상 구매할 계획이다. 2000명 이상의 국내 직원을 고용한 AMAT는 국내 연구 인력을 추가 채용할 방침이다.업계 관계자는 “국내에 투자를 결정한 반도체 장비업체들은 글로벌 장비 시장에서 과반 이상의 점유율을 차지하고 있는 핵심 기업”이라며 “삼성 계열사인 세메스를 중심으로 한 국내 반도체 장비업체들에게도 기술 이전과 매출 확대 등 긍정적인 영향을 줄 것”이라고 말했다.
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반도체장비
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로봇 Global Leader in Robotics & Automation 모든 산업현장의 자동화 사업분야에서 탁월한 제품의 성능과 지원으로 기술력을 인정받은 제조용 로봇다년간의 축적된 기술력과 경험을 바탕으로 고객의 다양한 요구 사양에 유연하고 긴밀하게 대응하며 고객만족을 실현하고 있습니다.
트랜스퍼 로봇(Transfer Robot) Global Leader in Robotics & Automation FPD 제조공정의 핵심 역할인 이송 및 적재용으로 활용되는 제조용 로봇(Transfer 로봇) 국내 및 해외 주요 FPD 생산현장에 공급하고 있으며, 1G~10G급까지 다양한 Size 및 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다.
반도체장비 Global Leader in Robotics & Automation 반도체 제조공정의 핵심 역할인 이송 및 적재용으로 활용되는 제조용 로봇(Transfer 로봇)과 각종 반도체 공정내 Wafer의 원활한 이송에 활용되는 반도체 장비로써, 국내 및 해외 주요 반도체 생산현장에 공급하고 있으며, 다양한 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다.
STAGE Global Leader in Robotics & Automation 각종 FPD산업의 공장자동화 및 물류시스템용 이송장치 등 공정장비 및 초정밀 검사장비의 기본 Base Machine인 정밀Stage국내 및 해외 FPD 시장의 공정장비 및 그 외 각종 초정밀 가공기 및 검사의 기초 제품을 공급하고 있으며, 다양한 Size 및 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다
[스페셜리포트]글로벌 반도체 장비 빅4 ‘점유율 70%’…투자·인력 ‘물량 공세’
글로벌 4대 반도체 장비 업체의 세계 시장 점유율이 70%에 육박했다. 미국과 유럽, 일본 장비 업체는 2011년 44%에서 2021년 70%까지 점유율을 높였다. 대규모 장비 투자와 연구개발(R&D) 인력을 바탕으로 후발 주자와 격차를 벌렸다.
지난해 R&D 투자액은 8조원에 달하며 전체 인력은 6만명이다. 세계 1위 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT) R&D 투자액은 2조7000억원, 연구 인력은 2만5000명이다. 투자액은 국내 장비 업체 세메스 매출과 비슷하고, 인력은 수만명 많다. 업계에서는 지금 구조로 점유율 격차를 좁히기는 어렵다고 분석한다. 반도체 수요에 맞는 투자와 인력 없이는 사실상 추격은 불가능하다.
◇글로벌 장비 톱4 외산 장비 장악…한국 1곳도 없어
시장조사업체 가트너에 따르면 미국 AMAT, 네덜란드 ASML, 미국 램리서치, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등 반도체 장비 업체 상위 4개사 점유율은 2021년 70% 수준이다. 11년 전 40%대 불과했던 점유율이 지난해 65%를 넘어 매출 성장세를 지속했다.
매출 성장세는 반도체 수요에 대응한 R&D 덕분이다. 모바일과 고성능 컴퓨팅, 전기차 등 반도체 수요 확대는 가파르다. 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔, TSMC, 마이크론 등 주요 기업의 반도체 투자가 증가할 전망이다. 인텔은 삼성전자, TSMC에 이어 파운드리(반도체 위탁생산) 시장 수요에 대응해 투자 규모를 40~50% 늘리고, 마이크론도 25~30% 투자를 확대할 계획이다.
반도체 장비 4사는 R&D 투자에 집중했다. AMAT(18.6%)와 ASML(18.1%), 램리서치(15%), TEL(13.4%)이 지난해 노광, 식각, 증착, 세정 등 반도체 핵심 공정에서 매출을 늘리며 두자릿 수 점유율을 기록했다. 램리서치는 2011년 5%에서 작년 15%까지 점유율을 끌어올렸다. 반도체 공정 변화에 웨이퍼 식각 장비의 성능 개선 작업을 해왔다.
웨이퍼에 필요한 부분만 빠르게 식각할 수 있는 장비 개발을 집중했다. 4개 업체의 시장 점유율 변동은 없다. 대만, 일본 업체의 반도체 증설 경쟁으로 메모리 가격이 하락하고 세계 3위 메모리 반도체였던 엘피다 등 일본 반도체 기업이 파산했다. 때문에 일본 니콘과 캐논 도키는 반도체 노광 장비 등 반도체 시장 대신에 디스플레이 시장으로 사업을 전환했다. AMAT, ASML, 램리서치, TEL은 반도체 주요 공정에서 고객을 확대하면서 시장 점유율 격차를 키워왔다.
반면에 우리나라 반도체 장비 업계의 실적은 초라하다. 세메스와 원익IPS가 지난해 13위, 14위에 올랐지만 10위권 업체와 격차는 크다. 특히 해외 장비업체 양산 특허로 인해 후발 주자인 국내 기업의 시장 진입은 더욱 어려워졌다. 한국반도체산업협회에 따르면 AMAT·램리서치·TEL 3개 업체의 평균 유효 특허는 국내 기업 평균 대비 4.3배나 많다.
◇글로벌 반도체 장비 4사, 투자·인력 ‘초격차’
AMAT, ASML, 램리서치, TEL의 R&D 투자와 인력 확보로 초격차를 확대하고 있다. 업계에 따르면 지난해 이들 업체 R&D 투자액은 8조원에 달한다. 램리서치 지난해 투자액은 3조1000억원으로 세메스의 작년 매출보다 1000억원 많다. 나머지 업체의 투자액은 1조~2조원 후반대다. 이들은 반도체 핵심 공정에 턴키 장비 솔루션을 보유하고 있는데 반도체 미세화에 따른 제품 개발과 제품 공급에 집중하고 있다. 또 반도체 장비 개발에 특화된 전문 인력 확보도 지속하고 있다. 해외 장비 업체들의 인력 규모는 6만명 수준이다. 반도체 장비를 개발하는 소프트웨어(SW), 생산하는 하드웨어(HW)를 나눠 운영하고 있는 것으로 알려졌다. AMAT의 지난해 매출은 27조8000억원 수준이다. 인력 규모도 2만5000명에 달한다. 반면 국내 장비 업계 인력은 수백명 수준에 불과하다. 우리나라도 반도체 장비 기술을 개발하기 위한 반도체 계약 장비 학과 설립과 기계, 전기, 화학. SW 등 전방위 기술 개발을 강화해야 한다는 분석이다.
◇원자재 공급망(SCM) 까지 직접 관리
글로벌 장비업계 성과는 반도체 장비에 들어가는 부품 수급이다. 2019년 코로나 사태로 반도체 장비 내 부품 납품 기간은 길어졌다. 프로그래머블 로직 컨트롤러(PLC), 진공밸브, 피팅, 아날로그 반도체(IC) 등 반도체용 부품, 산업용 반도체 납기가 대폭 길어졌다. 부품과 산업용 반도체도 일본, 유럽, 미국에서 주로 만든다. 특히 PLC, 아날로그IC 등 일부 제품은 1년 이상 납기가 미뤄지고 있는 것으로 파악됐다.
해외 장비 4사는 원자재 부품, 소재 공급망도 구축하고 있다. 실제로 TEL은 하나머티리얼즈 2대 주주다. 하나머티리얼즈는 TEL에 실리콘 포커스링, 실리콘 쿼츠 등 각종 부품 소재를 만들어 공급하고 있다.
램리서치는 판교에 부품 수급을 관리하는 조직을 운영하며 수급 이슈에 대응하고 있다. 업계에서는 장비에 들어가는 원자재를 제품별로 생태계를 따로 두고 구축해 운영해야 한다고 지적한다.
반도체 장비 업계 관계자는 “싱가포르는 원자재 대부분을 수입해 사용하고 있다”면서 “기업별 중요 소재, 부품의 내재화도 중요하지만 싱가포르처럼 장비에 들어가는 원자재 공급망을 운영해야 한다”고 말했다.
김지웅기자 [email protected]
반도체 장비 받는데 ‘2년 6개월’ 걸린다…속타는 삼성·SK
장비 리드타임 최대 30개월까지 늘어나
삼성전자 등 시설투자 이미 차질 빚는 중
“장비 국산화가 갈수록 중요해지는 추세”
유럽 출장길에 오르는 이재용 삼성전자 부회장이 7일 서울 강서구 서울김포비즈니스항공센터(SGBAC)를 통해 출국하고 있다. 2022.6.7 [사진=연합뉴스]
반도체 장비 리드타임 점점 길어져
심자외선 노광장비 공급난 심해
네덜란드 ASML의 심자외선(DUV) 장비인 ‘트윈스캔 NXT: 2050i’ [사진=ASML 홈페이지]
WSJ “장비 부족 현상…생산 차질로 이어질 것”
이재용 삼성전자 부회장(오른쪽 두 번째)이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 반도체 장비를 점검하고 있다. 2022.6.15 [사진=삼성전자]
반도체 업계의 장비난이 갈수록 심화하고 있다.등 국내 업체는 물론이고 대만 TSMC와 미국 인텔, 중국 반도체 업체들까지 공장 증설에 박차를 가하면서 생겨난 현상이다. 일부 장비의 경우 최대 2년 6개월가량 기다려야 받을 수 있는 것으로 알려졌다.이처럼 반도체 장비 수급이 반도체 업체들의 장·단기 전략 수립에 상당한 변수로 작용할 가능성이 높아 불확실성이 커지고 있다는 분석이 나온다.5일 글로벌 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 ASML, 램리서치, 어플라이드머티리얼즈 등이 제조하는 반도체 장비 리드타임(제품을 생산해 배송하는 데까지 걸리는 기간)이 최근 18개월에서 30개월까지 늘어났다. 올 초(12~18개월)보다 상황이 더 악화했고 코로나19(신종 코로나바이러스 감염증) 이전(3~6개월)과 비교하면 최대 10배 차이까지 난다.리드타임이 이처럼 길어진 이유는 반도체 업체들의 시설 투자 증가로 주문이 급증해서다. 지난해 전 세계 반도체 장비 시장 규모는 전년보다 40% 넘게 성장한 125조원을 기록했다. 전 세계 반도체 업체들이 신규 공장 증설이나 보강 투자를 위해 발주한 장비 양이 증가했다는 얘기다.러시아-우크라이나 전쟁, 코로나19에 따른 도시 봉쇄 등의 영향도 반도체 장비 생산 지연을 가중시킨 것으로 파악됐다.특히 인텔이 파운드리(반도체 위탁생산)에 가세하면서 시장에 공급할 반도체 장비가 부족해졌다는 분석이다. 반도체 공장 초기 투자는 부지와 건물을 제외하면 대부분 장비 도입 비용이 차지한다. 생산라인에 따라 차이가 있지만 반도체 장비 비중이 80~90%에 달한다. 인텔의 천문학적 반도체 제조·연구개발(R&D) 투자 비용 중 상당 부분이 반도체 장비 도입에 쓰일 전망이다.인텔은 지난해 미국 애리조나 공장 확장에 200억달러(한화 약 25조9300억원), 지난달 미국 오하이오주 공장 구축에 200억달러, 유럽에 330억유로(약 44조6700억원) 규모를 초기 인프라 구축에 쏟는다고 밝혔다.이같은 인텔의 공격적 반도체 제조 인프라 투자는 글로벌 소재·부품·장비(소부장) 공급망에 미치는 여파가 상당하다. 소부장 기업에는 삼성전자와 TSMC에 견줄 대형 고객사가 나타나 신규 시장 창출 기회가 됐지만 리드타임 지연으로 인한 반도체 공급난이 가중된 것이다.반도체 장비 중 가장 심하게 공급난을 겪는 품목은 심자외선(DUV·deep-ultraviolet) 노광장비다. DUV 장비는 빛을 이용해 웨이퍼에 전자회로를 새기는 역할을 한다. 첨단 반도체 장비로 불리는 극자외선(EUV·Extreme ultraviolet) 장비의 구형 버전이다.DUV 장비가 부족해진 건 수년 사이 중국 업체가 DUV 장비 매입에 적극 나선 영향이 크다. 미국 주도로 중국 업체들의 EUV 장비 도입이 금지되면서 이들이 첨단 공정 경쟁에서 구식 공정 개발로 눈을 돌려서다. 연간 생산량이 50대 수준에 불과해 상시적 공급난을 겪고 있는 EUV 장비는 물론 증착(CVD·PVD) 장비와 에칭 장비 등도 부족한 상황이 이어지고 있다.국내 업체들이 강세를 보이는 메모리반도체에서는 생산능력의 90% 이상이 DUV 공정을 채택하고 있다. 파운드리에서도 5나노 이하의 최첨단공정이 아닌 구공정은 대부분 DUV 장비를 활용하고 있다.트렌드포스는 “기존에는 글로벌 파운드리 생산량이 2022년과 2023년 각각 13%, 10%씩 성장할 것으로 봤다. 하지만 반도체 장비 인도 지연을 고려하면 성장률이 8%대로 떨어질 것”이라며 전망치를 조정했다.실제로 반도체 장비 도입 지연으로 올해 국내 업체들의 시설 투자는 이미 차질을 빚고 있다. 삼성전자 분기보고서에 따르면 이 회사는 올 1분기(1~3월) 6조6599억원을 반도체 설비 등에 투자해 전년 동기(8조4828억원) 대비 20.5% 감소했다. SK하이닉스도 같은 기간 시설투자가 4조3510억원에서 4조6930억원으로 7.9% 늘어나는 데 그쳤다. 장비 확보에 어려움이 생겨 적기에 자금 집행이 이뤄지지 않고 있는 상황으로 추정된다. 트렌드포스는 “(장비 인도 지연으로) 반도체 확장 계획은 약 2~9개월 동안 지연될 것”이라고 말했다.외신들도 반도체 장비 부족 현상을 조망하고 있다. 미국 월스트리트저널(WSJ)은 최근 세계적인 반도체 장비 부족 현상이 첨단 반도체 생산 차질로 이어질 것이라고 전망했다. 장비가 부족해져 수율에 차질이 빚어지고 납품기일을 지킬 수 없을 거라는 관측이 나온 것. 이에 따른 2024년 이후 첨단 반도체 공급 부족률은 최대 20%에 달할 것이라고 지적했다.지난 4월에도 일본 니혼게이자이신문(닛케이)은 “전례 없는 부품 부족 현상이 장비 산업을 넘어 반도체 업계 전체를 강타했다”며 “삼성전자와 TSMC 등이 장비 공급 문제를 해결하기 위해 고위 경영진을 해외로 파견하고 있지만 뾰족한 방법을 찾지 못하는 상황”이라고 보도한 바 있다.지난달 2년 만에 유럽 출장을 떠났던 이재용 삼성전자 부회장이 노광장비 전문 업체인 네덜란드 ASML 본사를 방문해 EUV 등의 원활한 조달 방안 등을 논의한 이유도 여기에 있다. 첨단 공정에 필수적인 EUV 장비를 두고 TSMC, 인텔 등과 경쟁해야 하고 DUV 장비의 경우 중국 업체들의 물량 저가 공세를 이겨내야 하는 상황을 타개하기 위한 방책이다.이 부회장은 유럽 출장에서 귀국해 ASML 방문 사실을 언급하면서 “가장 중요한 일정”이었다고 강조했다. TSMC 역시 위기를 감지하고 협력사들에 생산 장비 확보를 근거로 들어 2023~2024년에 생산량을 필요한 만큼 빠르게 늘리지 못할 수 있다고 공지했다.IT 컨설팅업체 IBS의 핸들 존스 최고경영자(CEO)는 생산장비 부족이 2·3나노 공정 칩 생산에 미치는 영향이 상당할 것이라고 예측했다. 2024년과 2025년에 이들 제품의 공급 부족률이 10∼20%에 이를 수 있다고 추산했다. 퀄컴은 일부 반도체 생산업체가 일방적으로 공급량 축소를 시도했다고 언급하기도 했다.업계 관계자는 “아직 크게 우려할 상황은 아니지만 리드타임이 점점 길어지고 있어 예의 주시 중”이라며 “반도체 장비 국산화가 갈수록 중요해지고 있다. 완성 업체뿐만 아니라 장비 업체 등 반도체 생태계 전반에 대한 정부 차원의 지원과 관심이 필수”라고 말했다.강경주 한경닷컴 기자 [email protected]
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