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[제23회] 공부하고 수익 걱정 세정 합시다!1. 세정이 수율에 미치는 영향은?
– 세정은 수율을 높이는 역할
– 수율은 기업 이익률의 영향↑
– 미세공정으로 세정역할 중요도↑
2. 세정 방식의 진화
– 싱글 타입, 배취타입
– 에어로졸
– 초임계 유체
– IPA
– QDR
– 친수성 / 소수성 / 초소수성
3. 세정 분야에서 주목 되는 국내 기업 분석!
#제우스
#코미코
4. QnA 시간!
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**이번 영상에는 [Video Source Support]Youtube channel \”freeticon\” : https://www.youtube.com/c/Freeticon 의
창작물을 포함합니다.
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반도체 세정장비 기술 통째로 해외 유출 일당 적발 – 한겨레
세계 최초로 개발한 반도체 세정장비 기술을 빼내 국외 유출한 혐의로 삼성전자 자회사 세메스 전 연구원 등 7명이 재판에 넘겨졌다.
Source: www.hani.co.kr
Date Published: 2/24/2022
View: 9675
반도체 세정장비(Cleaning) 의 종류 – 파파니어의 공학 블로그
1. Immersion Tank Type. 반도체 직접회로의 웨이퍼 표면을 세정하기 위한 화학적 습식 Cleaning 방법으로 · 2. Centrifugal Spray Type · 3. Closed System …
Source: hsh3167.tistory.com
Date Published: 1/12/2021
View: 2289
웨이퍼 세정 장비 시장
전 세계 반도체 웨이퍼 세정 시스템 시장은 최종사용자에 따라 파운드리(Foundry),. 메모리 제조업체, 종합반도체업체(IDM)로 분류되며, 파운드리(Foundry)는 2017.
Source: www.innopolis.or.kr
Date Published: 3/2/2021
View: 3076
고온황산 기술로 웨이퍼 이물질 100 제거 | 한경닷컴 – 한국경제
우리는 성장기업 반도체 세정전문 제우스 약품 사용량 6분의 1로 줄인 시간당 650장 세정장비 생산 ‘中 반도체 굴기’ 매출 이끌어
Source: www.hankyung.com
Date Published: 9/18/2021
View: 5917
반도체 장비업체 제우스, “반도체 최신 세정장비 개발…수율 …
제우스의 주력 사업은 반도체와 디스플레이 장비다. 이 가운데 대표적인 것은 반도체 세정 장비인 아폴론이다. 아폴론의 프로세스 체임버에 로봇이 반도체 웨이퍼를 …
Source: zero.globalzeus.com
Date Published: 6/22/2021
View: 117
[기업분석] 제우스 – “반도체 세정장비 기술력 세계 최고 수준 “
안녕하세요. · 당사는 반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되는 매엽식 웨이퍼 세정장비, 디스플레이 열 장비, 검사장비, 공정장비 및 산업용 Robot, …
Source: new-sun.tistory.com
Date Published: 10/13/2021
View: 1142
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주제에 대한 기사 평가 반도체 세정 장비
- Author: IT의 신 이형수
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- Date Published: 2021. 7. 28.
- Video Url link: https://www.youtube.com/watch?v=evEdJ9Hmw9g
반도체 세정장비 기술 통째로 해외 유출 일당 적발
검찰, 삼성전자 자회사 세메스 전 연구원 등 7명 구속기소
세메스가 개발한 세정장비. 황산을 포함한 고온의 약액을 사용해 미세패턴 세정코팅을 가능하게 하는 장비(BOO)와 웨이퍼 이송로봇의 팔을 2개에서 4개로 늘려 세정속도를 높이는 장비(LOO) 부분에서 기술력을 선도하는 것으로 알려져 있다. 수원지검 제공
세계 최초로 개발한 반도체 세정장비 기술을 빼내 국외 유출한 혐의로 삼성전자 자회사 세메스 전 연구원 등 7명이 재판에 넘겨졌다.
수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부(부장 이춘)는 25일 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률, 산업기술보호법 위반 등 혐의로 세메스 전 직원 ㄱ(46)씨 등 7명을 불구속기소 했다. 이들을 도운 세메스 전 연구원 2명도 불구속 기소하고, ㄱ씨가 범행을 위해 설립한 회사 법인도 함께 재판에 넘겼다.
ㄱ씨 등은 2018년 3월부터 지난해 12월까지 부정하게 빼낸 세메스의 기술정보로 동일한 사양의 반도체 세정 장비 14대를 제작한 뒤 관련 기술과 함께 중국 업체와 연구소 등에 팔아넘겨 710억원을 챙긴 혐의를 받는다. 이들이 빼낸 것으로 의심받는 기술은 반도체 기판에 패턴을 만드는 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 장비로, 세메스가 세계 최초로 개발했다.
ㄱ씨 등은 세메스 퇴직 후 회사를 차린 뒤 퇴사 전 관련 기술을 반납하지 않거나 협력업체 대표 등으로부터 기술정보가 담긴 부품 자체를 받는 수법으로 기술을 빼낸 것으로 조사됐다. 설계도면, 부품 리스트, 약액 배관 정보, 작업표준서, 소프트웨어 등 세정장비와 관련한 거의 모든 기술을 빼냈다고 검찰은 판단했다.
ㄱ씨 등은 중국에 설립한 합작법인으로 관련 기술을 모두 이전하고, 그 대가로 합작법인 지분 20%를 취득하려는 계획도 세운 것으로 드러났다. 이들은 지난해 10월 국정원 산업기밀보호센터의 첩보로 검찰 수사가 시작되자 하드디스크 및 휴대전화 등을 교체하는 등 관련 증거를 숨기거나 없앤 혐의도 받는다.
한편, 세메스는 기술 개발 연구비 등으로 2188억원을 투자했다. 기술경쟁력 저하로 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억원 이상의 손해가 발생하는 것으로 파악됐다.
이정하 기자 [email protected]
반도체 세정장비(Cleaning) 의 종류
1. Immersion Tank Type
반도체 직접회로의 웨이퍼 표면을 세정하기 위한 화학적 습식 Cleaning 방법으로
RCA 세정과 함께 발달되어져 온 가장 기본적인 세정 장치 방식
2. Centrifugal Spray Type
Wafer가 Spray Column 주위를 빠른 속도로 회전하고, Spray Column에서 세정액을 분사시켜
세정하는 방식
Immersion Tank type과 Centrifugal system 비교
Immersion Tank type Centrifugal system 일정한 혼합비율로 세정액을 혼합하여 일정시간 사용하고
일정시간이 지나면 배출시킴
약액조와 세정조, 그리고 Dryer를 이동하며 세정을 함 세정액은 분사되기 바로 직전에 혼합되어 Wafer에 분사되기 때문에 혼합비율이 일정함
약액 분사, 세정, 건조를 닫혀진 Chamber 내부에서 처리하기 때문에 오염에 대한 우려가 적음
3. Closed System Type
Centrifugal Spraying 방식과 같이 Wafer를 닫혀진 Vessel 내부에서 세정하는 것은 동일하지만, Wafer는 움직이지 않고 고정시켜 놓고, 약액세정, 세척, 건조하는 방식
“고온황산 기술로 웨이퍼 이물질 100% 제거”
우리는 성장기업
반도체 세정전문 제우스
약품 사용량 6분의 1로 줄인
시간당 650장 세정장비 생산
‘中 반도체 굴기’ 매출 이끌어
작년 매출 11% 늘어 4000억
이종우 대표 “산업용 로봇 진출
5년 내 매출 1조원 달성할 것”
제우스 경기 화성공장에서 직원들이 반도체 세정장비 출하 전 검수 작업을 하고 있다. 제우스 제공
중국 반도체 굴기에 매출↑
해외 진출·로봇 등 신사업 적극 발굴
반도체는 거울처럼 매끈한 실리콘 웨이퍼(얇은 원판) 위에 필요한 화학물질을 쌓고 열처리해 굳힌 뒤 다시 깎아내는 공정을 수십 번 반복해 만들어진다. 이 과정에서 생기는 미세먼지나 화학물질 잔여물이 웨이퍼 표면에 남으면 제조 중인 반도체를 전량 폐기하는 등 문제가 생긴다. 전체 반도체 제조공정 가운데 세정 작업이 30%나 차지하는 이유다. 반도체·디스플레이 제조 장비 전문기업 제우스의 이종우 대표(사진)는 “반도체를 만드는 노광, 증착, 식각 등 모든 공정 전후에는 세정 작업이 필수”라며 “제우스는 최근 고온 황산 세정 장비 개발에 성공하며 경쟁사와의 기술 격차를 늘렸다”고 설명했다.제우스는 반도체 세정 장비가 주력이다. 염산 황산 불산 초순수 등 공정에 따라 필요한 다양한 형태의 세정액을 사용해 19㎚급 웨이퍼를 시간당 650장 세척할 수 있는 세정 장비 등을 주로 생산한다. 국내 시장 점유율은 싱글타입(웨이퍼를 낱개로 세정하는 제품) 기준 40%로 1위다. 고객사는 한국 삼성전자와 SK하이닉스 등이다. 중국 반도체기업 SMIC와 CXMT, 대만 UMC 등도 제우스 제품을 사용한다.매출 비중은 한국과 중국이 각각 6 대 4 비율이다. 작년엔 매출 4001억원에 영업이익 240억원을 기록했다. 전년 동기 대비 매출은 11%, 영업이익은 31% 증가했다. 작년 매출 증가는 중국의 ‘반도체 굴기’가 호재가 됐다. 이 대표는 “중국 반도체기업 매출 비중이 당분간 지속적으로 증가할 전망”이라고 말했다. 증권가는 제우스가 올해 매출 4890억원에 영업이익 426억원을 올릴 것으로 예상한다.최근 제우스는 유독한 증기의 누출을 막으면서도 황산을 섭씨 160도 이상으로 가열해 웨이퍼 표면에 남은 감광액(포토레지스트)을 완전히 제거하는 기술을 개발했다. 기존의 황산과 과산화수소를 섞어 화학적으로 처리하던 방식을 대체한다. 약품 사용량을 6분의 1로 줄였다. 세정 시간도 대폭 단축했다. 이 대표는 “매년 연구개발(R&D) 비용을 매출의 7% 가까이 투자하며 연구에 힘쓴 결과”라고 설명했다.제우스는 1970년 3월 이 대표의 부친 이동악 회장이 설립한 제우스콤상사가 전신이다. 반도체 생산설비와 부품을 수입하다 2000년부터 제조업에 진출했다. 이 대표는 유학을 마치고 2004년 제우스에 입사해 2012년 대표이사에 취임했다.제우스는 2009년 일본의 반도체 세정장비 회사 제이이티(JET)를 인수했다. 당시 제이이티 매출은 14억엔에 불과했다. 꾸준한 성장을 거듭해 현재는 매출이 191억엔에 달한다. 한국의 코넥스(KONEX·중소벤처기업 전용 주식시장)와 비슷한 일본의 도쿄프로마켓(TPM)에 2018년 상장도 시켰다. 이 대표는 “올해 안에 제이이티를 세계 3대 거래소 중 하나인 도쿄증권거래소(TSE)로 이전 상장하고 인재 채용 및 사업 확장에 적극적으로 나설 것”이라고 밝혔다.반도체 산업은 일정한 주기로 대규모 설비투자가 이어지는 활황기와 침체기를 반복한다. 이런 특성 때문에 이 대표는 취임 후 꾸준히 사업 다각화를 진행했다. 현재 제우스는 반도체 장비가 전체 매출의 60%가량에 이르고 디스플레이 장비 매출이 20%, 산업용 로봇 및 태양전지 매출이 나머지를 차지한다.제우스는 로봇을 미래 신사업으로 보고 있다. 동시에 6개의 관절을 움직일 수 있는 6축 다관절 소형 산업용 로봇 등을 최근 개발했다. 이 대표는 “제우스가 개발한 로봇은 17㎏으로 동급 대비 최경량이며 반복 작업 정밀도는 오차 범위가 0.02㎜에 불과하다”며 “다양한 신사업 진출을 통해 5년 내 1조원 매출을 올린다는 각오”라고 강조했다.김진원 기자 [email protected]
반도체 장비업체 제우스, “반도체 최신 세정장비 개발…수율 향상 기여”
제우스의 주력 사업은 반도체와 디스플레이 장비다. 이 가운데 대표적인 것은 반도체 세정 장비인 아폴론이다. 아폴론의 프로세스 체임버에 로봇이 반도체 웨이퍼를 투입하면 체임버 내에서는 웨이퍼 표면 처리를 위해 `약품 처리→세정→건조 처리` 순으로 자동 진행한다. 이 과정에서 여러 종류 화학약품을 사용해 웨이퍼 표면의 불필요한 막질이나 `파티클`이라고 불리는 미세먼지를 제거한다. 시간당 웨이퍼 500매를 세정할 수 있는 12체임버형 `이온`도 개발해 생산 중이며 이는 아폴론보다 1.6배가량 시간당 세정 능력이 우수하다. 최근에 개발된 BW3700 장비는 세계 최초로 기존 웨이퍼 간격을 5㎜에서 7㎜ 구조로 개발해 반도체 제품 수율 향상에 크게 기여하고 있다.
“반도체 세정장비 기술력 세계 최고 수준 “
안녕하세요.
오늘은 어제에 이은 2탄으로 반도체 관련주를 가지고 왔습니다.
오늘 소개 드릴 기업은 “제우스”입니다. 케이씨텍과 매출처가 곂쳐 경쟁사로 많이 알려져 있습니다.
제우스 역시 주요장비는 “습식 세정장비”를 제조하고 있습니다.
제우스 홈페이지
개요
당사는 반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되는 매엽식 웨이퍼 세정장비, 디스플레이 열 장비, 검사장비, 공정장비 및 산업용 Robot, Process 플러그 밸브 등을 제조,판매하고 있습니다.
당사는 Batch 및 Single 타입 반도체 웨이퍼 습식장비를 모두 생산하고 있으며, HP/CP System, 예비건조로(Pre-Bake System), 공정장비, LCD 용 Inspection System(검사기) 등의 디스플레이 장비를 생산하고 있습니다.
사업부문 품목 주요상표 매출액(백만원) 매출비율(% ) LCD장비 및 태양전지 장비 LCD 및 태양전지용 Glass의 반송과 정보 처리를 담당하는 통합 관리 System HELIA 33,146 11.66 반도체 제조 장비 반도체 세정장비 Apollon, Venus 186,998 65.80 플러그 밸브 장비 플러그밸브 외 기타 장치 – 14,477 5.09 FA 및 진공 산업용 ROBOT 및 PUMP ZERO 49,581 17.45 총계 284,202 100.00
제우스의 주요 매출 순은 반도체 제조 장비, FA 및 진공, LCD 및 태양전지 장비, 플러그 밸브 장비 순 입니다.
주요 제품 소개
1. 반도체 세정 장비
제우스 홈페이지 (단일 습식 세척장비)
제우스 홈페이지 (배치 습식 세척장비)
제우스 습식 세척장비는 종류로는 싱글형과 배치형이 있습니다.
싱글형은 웨이퍼 세척을 하나씩, 배치형은 웨이퍼 세척을 여러개를 한번에 세척하는 장비입니다.
하지만 싱글형이 세척 효과가 뛰어나 싱글형에 대한 수요가 증가하는 추세라고 합니다.
싱글형과 배치형을 같이 생산하는 기업은 제우스가 국내유일이라고 하네요.
제우스 매출의 가장 큰 비중인 65.8%를 차지 하고 있습니다.
2. Cryo Pump
반도체 제조공정 및 일반 산업체 박막 공정에 주로 사용되는 Cryo Pump를 취급하며 세계시장 1위의 점유율을 가지고 있습니다.
제우스 홈페이지 (Cryo Pump)
3. LCD 장비
제우스 홈페이지 (HP/CP System)
LCD 생산공정에 필요한 장비로, 독자적인 기술력으로 국산화에 성공하여, LCD 장비 역시 시장 점유율 1위를 차지하고 있습니다.
제우스 실적분석
기업실적분석
2021년 실적은 아직 나오지 않았지만, 2020년 매출액과 비슷할 것으로 예상됩니다. PER는 12.6배 수준으로 반도체관련 테마 대비 낮은 편이지만, 장비회사는 영업이익률은 대체적으로 10% 이상을 상회하지만, 제우스는 평균 5%로 굉장히 낮은 수치여서 굉장히 아쉬운 부분이네요.
제우스 주가현황 (22/01/10 기준)
제우스의 시가 총액은 2,414억원으로 매출액보다는 낮은 수준으로 잡혀 있으며, 주가가 바닥을 찍으면서 지금은 우상향 을 보이다가 박스권을 형성하고 있는 것으로 보여지네요.
제우스는 현재 다관절 로봇 시장에도 뛰어 들면서 사업에 대해서 확장하고 있는 것으로 보입니다.
그리고 제우스는 일본의 LOHC(수소 대량저장, 운동기술) 전문기업인 Hrein Energy의 지분을 25.33%를 보유하고 있어 수소관련주로도 편입되어 있습니다.
높은 기술력과 좋은 테마를 가지고 있는 제우스는 실적 개선만 된다며, 좋은 흐름을 가질 수 있을 것으로 보여집니다.
도움이 되었길 바라며 끝으로 이 글은 개인적인 의견이고, 매수/매도 추천글은 아님을 밝힙니다.
감사합니다.
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