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SK하이닉스, 레이저어닐링 기술 도입
반도체 공정 전반에 변화 불가피
SK하이닉스, 2022년경 기술 도입 예정
SK하이닉스 고위 관계자 : 국내 기업 1곳과 긴밀한 기술협력 / 도입 기술은 16나노 이후 차세대 생산에 적용
SK하이닉스, 2008년부터 기술개발 지속
외국기업과 공개경쟁 후 국내기업 선정
최양오 현대경제연구원 고문 : SK하이닉스까지 레이저 어닐링 도입 / 반도체 장비, 주재료 시장 변화 / 대한민국 기업 부각될 것
삼성전자, 세계최초로 레이저어닐링 도입
디지털 수요 증가로 반도체 호황 필연적
레이저 어닐링 주제에 대한 자세한 내용은 여기를 참조하세요.
{1. 반도체} 레이저 어닐링 – 블로그
세계 레이저 마커 1위 기업 이오테크닉스는 반도체용 레이저 어닐링 장비로 차세대 반도체 시장에서 기회를 노리고 있다. 최근 삼성전자 반도체 사업부에 …
Source: blog.naver.com
Date Published: 5/23/2021
View: 8206
[김종효의 시장통] 삼성전자의 레이저 어닐링 기술이 중요한 …
기사 내용을 보면 삼성전자의 레이저 어닐링 신기술이 적용되어 관련업계에 큰 변동이 생긴다고 나와있습니다. 이미 9월에 인포스탁데일리에서 단독 …
Source: www.infostockdaily.co.kr
Date Published: 3/23/2022
View: 3270
[뉴스핌 라씨로] 디아이티, SK하이닉스 ‘레이저 어닐링’ 장비 공급 …
‘어닐링’은 열처리 공정으로, ‘레이저 어닐링’은 이온 주입 등으로 반도체 표면에 생긴 결정 결함부를 레이저 에너지에 의한 열처리를 통해 재결정시켜 …
Source: www.newspim.com
Date Published: 1/30/2021
View: 611
[단독] SK하이닉스, 세계 2번째로 반도체 전(前)공정에 ‘레이저 …
앞서 세계 최초로 레이저 어닐링 공정을 도입한 삼성전자는 관련 특허만 12개 보유한 이오테크닉스와 5.5년의 독점공급 계약을 맺은 바 있다. ( 2019년 10 …
Source: m.mk.co.kr
Date Published: 12/30/2021
View: 8468
레이저 어닐링 Laser Annealing System – 디아이티
LASER ANNEALING SYSTEM. 본사; 경기도 화성시 정남면 가장로 355-50. Tel. +82-31-831-7000. Fax. +82-31-831-7099. 광교 연구소; 경기도 수원시 영통구 광교로 152.
Source: www.okdit.co.kr
Date Published: 6/9/2022
View: 5187
어닐링 – 레이저 마킹 절차 | TRUMPF
어닐링은 레이저 마킹 절차로서 금속에 큰 부하를 가하지 않고 마킹 작업이 실행됩니다. 따라서 어닐링 마킹은 의료 제품에 사용하기에 가장 적합합니다.
Source: www.trumpf.com
Date Published: 2/25/2021
View: 2878
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주제에 대한 기사 평가 레이저 어닐링
- Author: 인포스탁데일리
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- Date Published: 2020. 12. 29.
- Video Url link: https://www.youtube.com/watch?v=Kfa6qrnW9mA
{ 1. 반도체} 레이저 어닐링
1. SK하이닉스는 국내 기업 1곳과 긴밀한 기술협력을 통해 레이저 어닐링 기술을 반도체 전공정에 2022년경 도입할 예정
2. 레이저 관련 기술을 가지고 있는 기업은 이오테크닉스, AP시스템, 에프에스티 등 있음. (사견)
2-1. 이오테크닉스 삼성과 독점 계약 5.5년 (본문) 혹은 3년 독점 (블로그 등)
2-2. 3년 독점 계약이면 2022년 SK하이닉스에 납품 가능, 5.5년이면 불가능
2-3. AP시스템은 디스플레이용(OLED) 레이저 어닐링으로 반도체와 다른것으로 판단
2-4. 에프에스티 투자회사 이솔(E-Sol)은 삼성전자 출신이 부사장으로 있으며 EUV 관련 제품 개발
레이저 어닐링 언급은 있으나 개발 역량 집중은 Euv용 마스크 검사 장비 인것으로 판단.
(2). 레이저 어닐링
1. 어닐링
양이온을 임플란트한 이후에는 데미지를 입은 웨이퍼를 최대 약 섭씨 1,000도 가까이 가열하는 ‘어닐링(열처리)’을 실시합니다. 어닐링은 정위치에서 벗어난 실리콘 배열이 제자리를 찾아가게 합니다. 또, 어닐링은 실리콘 원자를 치환하려 하는 불순물 원자가, 박힌 돌(실리콘 원자)을 빼고 실리콘 원자가 있었던 위치에 들어설 수 있게 도와주죠. 섭씨 500도에서부터 온도를 높일수록 개선되는 부위가 점점 늘어나게 되며, 섭씨 1,000도 근방까지 가서는 거의 대부분의 데미지들이 회복된다고 볼 수 있습니다. (반도체 공정에서는 어떤 경우든 실리콘이 녹는 섭씨 1,400도까지 높이는 일은 없습니다) 어닐링은 오랜 시간 실시하는 방법도 있고, 좀 더 발전된 방법으로는 빠른 시간 내에 실시하는 RTA방법(Rapid Thermal 어닐링)이 있습니다.
출처 : SK하이닉스
이온-임플란테이션 방식을 이용한 소스와 드레인 단자 만들기: https://news.skhynix.co.kr/1762
웨이퍼를 담금질하다: 파괴를 복원하는 어닐링(Annealing) : https://news.skhynix.co.kr/1833
2. 레이저 어닐링
반도체 웨이퍼 박막화…레이저 어닐링 기술, 급속열처리(RTP) 방식 대체할 듯
반도체 분야에서 어닐링은 웨이퍼에 불순물 이온을 주입한 후 활성화하거나 실리콘을 재결정화할 때 쓴다. 현재 반도체 어닐링 기술은 퍼니스(furnace)·급속열처리(RTP, Rapid Thermal Process) 방식이 주류다.
하지만 14나노 핀펫·20나노 D램·48단 3D 낸드 등으로 반도체 웨이퍼 두께가 점점 얇아지면서 기존 어닐링 기술은 한계에 다다랐다. 웨이퍼 전체에 열이 퍼져 주변 소자 및 회로에 손상을 주기 때문이다. 웨이퍼 박막화로 열 전도율은 점점 커질 수밖에 없다. 레이저 어닐링 기술이 대안으로 부상한 이유다.
레이저 어닐링 기술을 활용하면 웨이퍼 전체를 가열하지 않고 특정 부분만 선택적으로 처리할 수 있다. 레이저 어닐링은 6000억원 규모의 RTP 어닐링 시장을 대체해 나갈 것으로 예상된다.
출처: KINEWS
레이저 어닐링, 차세대 반도체 디스플레이 핵심 기술로 급부상 (121415)
http://n502.ndsoftnews.com/news/articleView.html?idxno=316
(3). 이오테크닉스
레이저 어닐링, 차세대 반도체 디스플레이 핵심 기술로 급부상 (121415)
세계 레이저 마커 1위 기업 이오테크닉스는 반도체용 레이저 어닐링 장비로 차세대 반도체 시장에서 기회를 노리고 있다.
최근 삼성전자 반도체 사업부에 레이저 어닐링 샘플 장비 2대를 공급하고, 테스트를 진행 중이다. 삼성전자 평택 공장 시스템반도체 라인에 적용될 가능성이 높다. 레이저 어닐링 장비가 채택되면 이오테크닉스는 이 분야에서만 올해 100억, 내년 800억원의 신규 매출을 달성할 것으로 기대된다.
현재 반도체용 레이저 어닐링 장비는 엑시머 레이저(Excimer Laser) 방식이 주로 쓰인다. 엑시머 레이저는 단파장으로 출력 파워가 세지만, 장비 가격이 비싸고 유지보수 비용이 비싼 게 단점이다. 또 엑시머 레이저에 사용되는 네온 가스는 분쟁지역에서 주로 생산돼 가격이 비싸고 가격 변동성도 큰 편이다.
이오테크닉스가 개발한 레이저 어닐링 장비는 엑시머 대신 DPSSL 광원을 쓴다. 엑시머 레이저와 달리 독성이 없고 유지보수 비용도 싸다. 성패는 엑시머 레이저 어닐링 장비 대비 얼마 만큼의 신뢰성과 안정성을 담보하느냐에 달렸다.
출처: KINEWS
http://n502.ndsoftnews.com/news/articleView.html?idxno=316
삼성전자 협력사 육성 결실… 장비·소재 개발 (062520)
이오테크닉스는 그동안 수입에 의존하던 레이저 어닐링 장비를 삼성전자와 공동 개발해 D램 미세화 과정에서 고질적으로 발생하는 불량 문제를 해결했다. 레이저 어닐링 장비는 열처리 장비(RTP)와 달리 레이저로 웨이퍼 표면 위 국소부위의 온도만 급격히 올리는 장비로, 단층을 이루는 분자간 결합 등 미세구조(Microstructure)를 복원하거나 소자와 금속 배선을 연결하는 접합(contact) 중 하나인 오믹 접합(Ohmic contact)을 형성할 때 쓰인다.
* 추가 협력업체 (어닐링 아님)
삼성전자는 지난 4월 원익IPS, 테스, 유진테크, 피에스케이(PSK) 등 국내 주요 설비협력사, 2~3차 부품 협력사와 업무협약(MOU)을 체결하고 오는 7월부터 설비부품 공동개발을 본격적으로 시작
출처 : KIPOST(키포스트)
https://www.kipost.net/news/articleView.html?idxno=204532
[김종효의 시장통] 삼성전자의 레이저 어닐링 기술이 중요한 이유 (FEAT. 인포스탁데일리 단독기사)
부담이 많아질 수 밖에 없는 삼성전자
수요증가와 신기술로 어려움 극복해 낼 것
삼성전자가 일본의 소재 수출규제에 힘겨워 한다는 얘기가 많습니다.
당장 내일부터 생산 중단이라도 되는 것처럼 우려의 목소리가 높은데다 이재용 부회장이 컨틴전시 플랜을 준비하라며 해외로 뛰어다니는 모습을 보면 정말 삼성전자에게도 실적 둔화와 함께 위기에 빠진 것은 아닌지 걱정이 되기도 합니다. 그러나 삼성전자는 이런 우려를 지우기라도 하듯 독자적 기술 개발을 통해 반도체 시장에서 한발 더 나아가고 있습니다.
아래에 연결된 인포스탁 데일리의 단독기사를 통해 삼성전자의 신기술이 어떤 의미를 지니고 또 향후 주목할 포인트는 무엇인지 주목해 봅시다.
기사 내용을 보면 삼성전자의 레이저 어닐링 신기술이 적용되어 관련업계에 큰 변동이 생긴다고 나와있습니다.
이미 9월에 인포스탁데일리에서 단독 기사를 통해 16나노 D램 DDR5의 출시를 알린 적이 있는데 이를 양산할 때부터 신기술이 적용될 가능성이 높아진다고 합니다.
삼성전자 단독기술 개발, 자료 : 인포스탁데일리
그럼 이 신기술이 왜 중요할까요? 5G로 넘어가는 지금 반도체에도 신기술이 중요합니다. 특히 미세화 공정으로 가면 갈 수록 더욱 그러합니다. 일본이 포토 레지스트(감광액)을 기존 메모리 공정에 대한 것은 제어하지 않고 7나노 이하의 EUV신공정에 사용될 감광액만 규제하는 것을 봐도 그렇습니다.
인텔을 제치고 신공정을 TSMC와 삼성전자가 주도하는 과정속에서 좀 더 높은 수율과 양질의 제품을 만들어 내는 것은 향후 5G시장의 주요 반도체 제품(메모리 + 비메모리) 그만큼 중요하고 판단할 수 있으며 따라서 향후 반도체 생산 공정 내에서 자체 원천 기술을 확보하는 것은 그만큼 중요한 일이라 사료됩니다.
아래 그림에서 보시는 것처럼 삼성전자의 기술은 지금 파운드리 공정에서 7나노 양산 수준에 도달해 있고 메모리단 에서는 1Z기술을 적용중인 상황이라 다른 반도체 업체들과의 격차를 더 벌려가고 있는 상황입니다.
반도체산업 로드맵과 EUV 장비적용, 자료 : MYDRIVERS.COM
그렇다면 이번에 개발된 어닐링이라고 불리는 열처리 기술은 왜 중요할까요? 반도체 전공정에서 이온주입 과정이나 화학증착시 발생하는 다양한 변수를 제어하기 위해 또 후공정의 500도에서 1000도에 이르는 고열 공정을 잘 이겨내고 양질의 반도체를 생산해 내기 위해서는 무엇보다 열처리, 쉽게 말해서 담금질이 중요합니다.
이미 만들어진 실리콘 위에 반도체 층이 열에 의해 변형되거나 못쓰게 될 가능성이 높아 이를 방지할 기술이 필연적으로 필요하며 특히 7나노 이하의 초미세 공정으로 가면 갈수록 초극박 처리가 필요하다는 점에서 열처리의 중요성은 높아질 수 밖에 없습니다.
어닐링이라고 불리는 이 기술의 역할은 대략 이렇습니다.
1. 실리콘에 도전 현상을 더 용이하게 만들어 줍니다.
어닐링의 역할, 자료 : SK하이닉스 블로그
아시는 것처럼 반도체의 원료인 규사는 전기가 통하지 않습니다. 이 위에 화학적 처리를 통해 상화에 따라 전기를 통하게도 통하지 않게도 만들어 디지털 신호를 전달 할 수 있는 반도체가 만들어 지는데 어닐링을 통하면 도전성(낮은 비저항)을 더 잘 확보하게 됩니다.
2. 불순물의 불필요한 확산을 제어할 수 있습니다.
어닐링의 역할, 자료 : SK하이닉스 블로그
반도체를 만들기 위해서 반도체 사이에 붕소 등의 의도된 불순물을 섞게 됩니다. 특히 이온 주입 과정에서 이런 현상들이 발생하게 되는데 이온 주입시 발생하는 열과 외부 충격에 의해 의도된 불순물이 제자리를 크게 벗어나게 되면 그리고 그러한 분자들의 숫자가 늘어나면 반도체의 불량률을 늘어날 수 밖에 없습니다. 어닐링을 통해 분자구조를 안정시키면 이러한 불필요한 불순물의 확산을 막아 조금 더 안정적인 반도체를 만들 수 있습니다.
미세공정으로 갈수록 조그만 사항 하나가 수율과 품질을 결정한다는 걸 가정할때 이와같은 열처리 기술의 확보는 너무도 중요하다는 것을 강조하고 또 강조해도 모자랍니다.
삼성전자는 향후 소재와 부품, 장비를 안정적으로 확보하고 또 생산해야 한다는 관점에서 일본과의 소재 이슈가 장기화되지 않도록 관리하고 또 장기적으로는 내재화, 그리고 소재부품 포트폴리오를 안정적으로 분산하는 것이 필요합니다.
따라서 장비와 소재 쪽에서 굉장히 낮은 국내 점유율을 끌어올려야 할 필요가 있으며 지금 삼성전자와 함께 가고 있는 여러 장비, 소재, 부품업체들의 국산화율과 점유율도 더 끌어올릴 필요가 있습니다.
반도체 전공정과 관련기업, 자료 : 이베스트투자증권
삼성전자에 의미있는 소재와 부품, 장비를 납품하고 있는 기업들에 대한 지속적 관심이 필요하며 궁극적으로 반도체 기술의 내재화에 한발 더 나아가고 있는 삼성전자에 대한 관심도 여전히 높여야 할 때라고 판단됩니다. 전일 실적발표에서 TSMC 역시 향후 5G 시장 개화로 반도체 업황에 대한 긍정적 관점을 높였다는 것도 주목해 봅시다.
정리해 봅시다,
1. 잠시의 어려움은 있지만 삼성전자의 초격차 전략은 이어지고 있습니다.
2. 삼성전자의 반도체 부문과 함께 갈 수 있는 부품, 소재, 장비 업체와 삼성전자에 대한 장기적 관심을 여전히 유효합니다.
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[단독] SK하이닉스, 세계 2번째로 반도체 전(前)공정에 ‘레이저 어닐링’ 도입한다
제목 : [단독] SK하이닉스, 세계 2번째로 반도체 전(前)공정에 ‘레이저 어닐링’ 도입한다
[인포스탁데일리=김종효 선임기자]사진= SK하이닉스
삼성전자에 이어 SK하이닉스도 반도체 전공정에서 ‘레이저 어닐링’ 공정 도입을 추진하는 것으로 확인됐다.
이에 따라, 전세계 반도체 공정에 일대 변화가 불가피 할 전망이다.
29일 SK하이닉스와 관련업계에 따르면 SK하이닉스는 2022년경 자사 반도체 전공정에 레이저 어닐링 기술을 도입한다.
SK하이닉스 고위 관계자는 인포스탁데일리에 “국내 기업 1곳과 긴밀한 기술협력을 통해 레이저 어닐링 기술을 반도체 전공정에 2022년경 도입할 예정”이라며 “도입될 레이저 어닐링 기술은 1Z 이후 차세대 반도체 생산에 적용된다”고 말했다.
SK하이닉스에 따르면 도입될 레이저 어닐링 기술은 지난 2008년부터 개발을 지속해왔다. 도입을 확정한 후 SK하이닉스는 국내 장비기업 A사를 외국 기업 2곳과의 공개경쟁 끝에 주사업자로 선정했다.
최양오 현대경제연구원 고문은 “삼성전자에 이어 SK하이닉스까지 레이저 어닐링 공정을 도입하게 되면 전세계 반도체 시장의 일대 변화가 불가피하다”면서 “공정이 바뀌는 만큼, 반도체 장비와 주재료 등 반도체 제조 기반 시장에서 대한민국 기업들이 일약 스타로 떠오를 수밖에 없다”고 평가했다.
앞서 세계 최초로 레이저 어닐링 공정을 도입한 삼성전자는 관련 특허만 12개 보유한 이오테크닉스와 5.5년의 독점공급 계약을 맺은 바 있다. ( 2019년 10월 10일 [단독] 삼성전자, 내년 1월 ‘레이저어닐링’기술 적용 16나노 D램 양산 기사참조)
김종효 선임기자 [email protected]
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어닐링 – 레이저 마킹 절차
어닐링은 스틸과 금속에 영구 표시를 남기기 위한 인정된 방식입니다. 이 소재의 경우 레이저로 열을 가하면 어닐링 컬러가 나타납니다. 이러한 변화는 금속이 가열되는 온도에 따라 크게 다릅니다. 어닐링 시 표면에 산화 층이 나타나며, 그 특성에 따라 컬러가 결정됩니다.
어닐링 마킹 시 중요 장점: 표면은 정상 상태를 유지하고, 마킹은 잘 읽을 수 있으며, 계속 유지되고 우수한 내마모성을 갖습니다. 어닐링 마킹은 관통구가 유지되어야 하고 재료팽윤부가 발생하면 안 되는 위치에 적합합니다. 따라서 이 절차는 주방 용품과 같은 소비재나 의료제품에 적합합니다.
키워드에 대한 정보 레이저 어닐링
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사람들이 주제에 대해 자주 검색하는 키워드 [단독] SK하이닉스, 세계 2번째로 반도체 전(前)공정에 ‘레이저 어닐링’ 도입한다
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